| 摘要 | 第3-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 ZnO基紫外探测器发展现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 ZnO光导型紫外探测器 | 第10-11页 |
| 1.2.2 ZnO光伏型紫外探测器 | 第11-13页 |
| 1.3 课题研究意义 | 第13页 |
| 1.4 本文的研究内容 | 第13-14页 |
| 1.5 本章小结 | 第14-15页 |
| 2 MSM肖特基型探测器的工作原理 | 第15-25页 |
| 2.1 MSM-PD的主要特征参数 | 第15-17页 |
| 2.2 MSM-PD的器件结构和工作原理 | 第17-20页 |
| 2.3 电流模型 | 第20-24页 |
| 2.3.1 肖特基结构的电流输运 | 第20-22页 |
| 2.3.2 MSM-PD的暗电流特性 | 第22-24页 |
| 2.3.3 MSM-PD的光电流特性 | 第24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 ZnO基MSM肖特基型紫外探测器的仿真研究 | 第25-37页 |
| 3.1 ZnO MSM-PD的建模 | 第25-31页 |
| 3.1.1 Silvaco TCAD软件简介 | 第25-26页 |
| 3.1.2 器件结构 | 第26-27页 |
| 3.1.3 物理模型 | 第27-31页 |
| 3.2 仿真结果与分析 | 第31-36页 |
| 3.2.1 ZnO MSM-PD仿真模型的验证 | 第31-32页 |
| 3.2.2 器件结构参数对MSM-PD I-V特性的影响 | 第32-36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 4 具有不对称电极结构的ZnO基MSM-PD的研究 | 第37-41页 |
| 4.1 不对称功函数电极MSM-PD的研究 | 第37-39页 |
| 4.1.1 理论分析 | 第37页 |
| 4.1.2 仿真结果与分析 | 第37-39页 |
| 4.2 不对称接触面积电极MSM-PD的研究 | 第39-40页 |
| 4.2.1 理论分析 | 第39-40页 |
| 4.2.2 仿真结果与分析 | 第40页 |
| 4.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 5 新型电极结构ZnO基MSM-PD的研究 | 第41-51页 |
| 5.1 常规矩形MSM电极的不足 | 第41页 |
| 5.2 三角形电极ZnO基MSM-PD的研究 | 第41-46页 |
| 5.2.1 器件结构与模型 | 第41-42页 |
| 5.2.2 仿真结构与分析 | 第42-46页 |
| 5.3 半圆形电极ZnO基MSM-PD的研究 | 第46-49页 |
| 5.3.1 器件结构与模型 | 第46-47页 |
| 5.3.2 仿真结果与分析 | 第47-49页 |
| 5.4 三角形电极与半圆形电极MSM-PD的对比 | 第49-50页 |
| 5.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 6 总结 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |