| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 太阳能电池的发展现状和趋势 | 第11页 |
| 1.2 透明导电薄膜在太阳能电池中的应用 | 第11-12页 |
| 1.3 常见的透明导电薄膜以及其制备方法 | 第12-16页 |
| 1.3.1 常见的透明导电薄膜（TCO） | 第12-14页 |
| 1.3.2 薄膜常见的制备方法 | 第14-16页 |
| 1.4 AZO透明导电薄膜发展现状和存在的问题 | 第16-17页 |
| 1.5 氧化锌的基本性质 | 第17-18页 |
| 1.6 掺氢AZO透明导电薄膜的研究现状 | 第18-21页 |
| 1.6.1 氢的存在方式 | 第18-19页 |
| 1.6.2 氢对AZO薄膜晶体结构和形貌的影响 | 第19-20页 |
| 1.6.3 氢对AZO薄膜光电性能的影响 | 第20页 |
| 1.6.4 氢在在ZnO薄膜中的稳定性 | 第20页 |
| 1.6.5 掺氢AZO薄膜的发展现状 | 第20-21页 |
| 1.7 论文研究的主要内容构架 | 第21-22页 |
| 2 掺氢AZO透明导电薄膜表征方法和制备方法 | 第22-31页 |
| 2.1 AZO薄膜的表征方法 | 第22-26页 |
| 2.1.1 四探针法测方块电阻 | 第22页 |
| 2.1.2 紫外-可见光分光光度计 | 第22-24页 |
| 2.1.3 X射线衍射（XRD） | 第24页 |
| 2.1.4 扫描电子显微镜（SEM） | 第24-25页 |
| 2.1.5 透射谱计算薄膜厚度 | 第25-26页 |
| 2.2 直流磁控溅射镀膜 | 第26-29页 |
| 2.2.1 磁控溅射的发展 | 第26-27页 |
| 2.2.2 直流磁控溅射法制备AZO透明导电薄膜的原理 | 第27-28页 |
| 2.2.3 直流磁控溅射法制备AZO薄膜的优势 | 第28-29页 |
| 2.2.4 实验室中磁控溅射仪器的简单介绍 | 第29页 |
| 2.3 实验操作流程 | 第29-31页 |
| 3 溅射参数对AZO薄膜各项性能影响结果与分析 | 第31-47页 |
| 3.1. 溅射功率对AZO薄膜性能的影响 | 第32-36页 |
| 3.1.1 溅射功率对薄膜透射谱的影响 | 第32-33页 |
| 3.1.2 溅射功率对AZO薄膜电阻率的影响 | 第33-34页 |
| 3.1.3 溅射功率对AZO薄膜晶格结构的影响 | 第34-35页 |
| 3.1.4 溅射功率对AZO薄膜表面形貌的影响 | 第35-36页 |
| 3.2 掺杂氧气对AZO薄膜性能的影响 | 第36-37页 |
| 3.2.1 掺杂氧气对薄膜透射谱的影响 | 第36-37页 |
| 3.2.2 掺杂氧气对薄膜电阻率的影响 | 第37页 |
| 3.3 溅射时间对AZO薄膜性能的影响 | 第37-40页 |
| 3.3.1 溅射时间对AZO薄膜透射谱的影响 | 第37-38页 |
| 3.3.2 溅射时间对薄膜电阻率的影响 | 第38-39页 |
| 3.3.3 溅射时间对薄膜表面形貌的影响 | 第39-40页 |
| 3.4 溅射压强对AZO薄膜性能的影响 | 第40-43页 |
| 3.4.1 溅射压强对薄膜透射谱的影响 | 第40-41页 |
| 3.4.2 溅射压强对薄膜电阻率的影响 | 第41-42页 |
| 3.4.3 溅射压强对薄膜表面形貌的影响 | 第42-43页 |
| 3.5 衬底温度对AZO薄膜性能的影响 | 第43-45页 |
| 3.5.1 衬底温度对薄膜透射谱的影响 | 第43-44页 |
| 3.5.2 衬底温度对薄膜电阻率的影响 | 第44页 |
| 3.5.3 衬底温度对薄膜表面形貌的影响 | 第44-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-47页 |
| 4 掺氢AZO透明导电薄膜性能研究和分析 | 第47-58页 |
| 4.1 氢气流量对AZO薄膜性能的影响 | 第47-50页 |
| 4.1.1 氢气流量对AZO薄膜透射谱的影响 | 第47-48页 |
| 4.1.2 氢气流量对AZO薄膜电阻率的影响 | 第48-49页 |
| 4.1.3 氢气流量对AZO薄膜晶格结构的影响 | 第49-50页 |
| 4.1.4 掺杂氢气与否对AZO薄膜表面形貌的影响 | 第50页 |
| 4.2 衬底温度对掺氢AZO薄膜性能影响 | 第50-54页 |
| 4.2.1 衬底温度对掺氢AZO薄膜透射谱的影响 | 第50-51页 |
| 4.2.2 衬底温度对掺氢AZO薄膜电阻率的影响 | 第51-52页 |
| 4.2.3 衬底温度对掺氢AZO薄膜晶格结构的影响 | 第52-53页 |
| 4.2.4 衬底温度对掺氢AZO薄膜表面形貌的影响 | 第53-54页 |
| 4.3 不同温度系列氢气流量对AZO薄膜性能的影响 | 第54-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 论文总结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-66页 |
| 个人简历和硕士期间发表论文 | 第66-67页 |
| 个人简历 | 第66页 |
| 硕士期间发表论文 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
