| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 超辐射发光二极管概述 | 第11-16页 |
| 1.2.1 超辐射发光二极管简介 | 第11-12页 |
| 1.2.2 超辐射发光二极管的应用 | 第12-15页 |
| 1.2.3 对1.3μm波段超辐射发光二极管的需求 | 第15-16页 |
| 1.3 超辐射发光二极管的研究进展 | 第16-17页 |
| 1.4 论文结构安排 | 第17-18页 |
| 参考文献 | 第18-21页 |
| 第二章 半导体材料的制备和表征 | 第21-30页 |
| 2.1 金属有机化学气相沉积 | 第21-23页 |
| 2.2 半导体材料的表征手段 | 第23-27页 |
| 2.2.1 X射线衍射 | 第23-24页 |
| 2.2.2 光致发光 | 第24-25页 |
| 2.2.3 原子力显微镜 | 第25-26页 |
| 2.2.4 电化学CV | 第26-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27页 |
| 参考文献 | 第27-30页 |
| 第三章 1.3μm波段超辐射发光二极管工艺研究 | 第30-41页 |
| 3.1 1.3μm波段超辐射发光二极管的前期工艺 | 第30-36页 |
| 3.2 1.3μm波段超辐射发光二极管的后期工艺 | 第36-37页 |
| 3.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-41页 |
| 第四章 1.3μm波段激光器和超辐射发光二极管 | 第41-55页 |
| 4.1 1.3μm波段宽接触激光器 | 第41-47页 |
| 4.1.1 器件外延结构的设计及制备 | 第41-44页 |
| 4.1.2 器件性能测试及分析 | 第44-47页 |
| 4.2 1.3μm波段窄条形激光器 | 第47-49页 |
| 4.2.1 器件外延结构的设计及制备 | 第47-48页 |
| 4.2.2 器件性能测试及分析 | 第48-49页 |
| 4.3 1.3μm波段超辐射发光二极管的探索制备 | 第49-51页 |
| 4.3.1 器件外延结构的设计及制备 | 第49-50页 |
| 4.3.2 器件性能测试及分析 | 第50-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 第五章 总结和展望 | 第55-57页 |
| 5.1 总结 | 第55-56页 |
| 5.2 展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第59页 |