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基于MEMS的超滑表面研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-18页
    1.1 课题背景以及研究目的第10页
    1.2 超滑表面相关的MEMS技术第10-12页
        1.2.1 微流控技术概述第10-11页
        1.2.2 光刻与软光刻工艺概述第11-12页
    1.3 仿生表面的国内外研究现状第12-16页
        1.3.1 超疏水表面第12-13页
        1.3.2 亲水表面和水下超疏油表面第13-15页
        1.3.3 超亲水表面第15-16页
    1.4 本论文的主要研究工作第16-18页
第2章 超滑表面的制备方法及应用第18-31页
    2.1 超滑表面概述第18页
    2.2 超滑表面的设计准则第18-20页
    2.3. 超滑表面的制备工艺第20-24页
        2.3.1 超滑表面的制备工艺概述第20页
        2.3.2 化学反应制备粗糙基底第20-22页
        2.3.3 喷涂法制备粗糙基底第22-23页
        2.3.4 自组装制备粗糙基底第23-24页
    2.4 超滑表面的应用第24-29页
        2.4.1 超滑表面防冰应用第24-25页
        2.4.2 超滑表面在传热领域的应用第25-26页
        2.4.3 超滑表面在管道运输领域的应用第26页
        2.4.4 超滑表面应用于液滴操控第26-27页
        2.4.5 超滑表面在航运领域的应用第27-28页
        2.4.6 超滑表面在生物工程领域的应用第28-29页
        2.4.7 超滑表面应用于工业除垢第29页
    2.5 本章小结第29-31页
第3章 超滑表面ITO电极上的介电润湿第31-45页
    3.1 引言第31页
    3.2 超滑表面ITO电极的制备第31-39页
        3.2.1 光刻工艺简介第31-32页
        3.2.2 MicroWriter无掩膜光刻机介绍第32-36页
        3.2.3 超滑表面ITO电极的制备工艺第36-39页
    3.3 介电润湿实验第39-44页
        3.3.1 介电润湿概述第39-40页
        3.3.2 介电润湿装置以及液滴的受力分析第40-42页
        3.3.3 介电润湿实验第42-44页
    3.4 本章小结第44-45页
第4章 超滑表面抑制生物附着实验第45-49页
    4.1 引言第45页
    4.2 细菌与生物膜介绍第45页
    4.3 软光刻工艺介绍第45-46页
    4.4 超滑表面的抑制生物附着实验第46-48页
    4.5 本章小结第48-49页
结论第49-50页
参考文献第50-56页
攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利第56-57页
致谢第57页

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