| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 硅基薄膜及其沉积方法 | 第11-12页 |
| 1.2.1 硅基薄膜材料 | 第11页 |
| 1.2.2 沉积方法概述 | 第11-12页 |
| 1.3 硅基前驱体的发展 | 第12-16页 |
| 1.3.1 传统硅前驱体 | 第12-14页 |
| 1.3.2 新型硅前驱体 | 第14-15页 |
| 1.3.3 CVD对前驱体的要求 | 第15-16页 |
| 1.4 小结 | 第16-17页 |
| 1.4.1 目前硅基前驱体存在的问题 | 第16页 |
| 1.4.2 解决这些问题的意义 | 第16-17页 |
| 1.5 论文内容及创新性 | 第17-20页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第17-18页 |
| 1.5.2 研究方法 | 第18-19页 |
| 1.5.3 本文的创新点 | 第19-20页 |
| 第二章 Si_2Cl_6及其仲胺基衍生物的合成及性能研究 | 第20-34页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 实验部分 | 第20-25页 |
| 2.2.1 试剂和实验仪器 | 第20页 |
| 2.2.2 Si_2Cl_6的合成与表征 | 第20-22页 |
| 2.2.3 Si_2Cl_6仲胺基衍生物的合成与表征 | 第22页 |
| 2.2.4 单晶结构表征 | 第22-25页 |
| 2.3 性能测试 | 第25-27页 |
| 2.3.1 挥发性与热稳定性 | 第25页 |
| 2.3.2 蒸汽压测定 | 第25-26页 |
| 2.3.3 薄膜沉积性能初探 | 第26-27页 |
| 2.4 结果与讨论 | 第27-33页 |
| 2.4.1 合成与表征 | 第27-28页 |
| 2.4.2 性能分析 | 第28-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 Si_2Cl_6伯胺基衍生物的合成及性能研究 | 第34-49页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 实验部分 | 第34-39页 |
| 3.2.1 试剂和实验仪器 | 第34页 |
| 3.2.2 Si_2Cl_6伯胺基衍生物的合成与表征 | 第34-36页 |
| 3.2.3 单晶结构表征 | 第36-39页 |
| 3.3 性能测试 | 第39-41页 |
| 3.3.1 挥发性与热稳定性 | 第39页 |
| 3.3.2 蒸汽压测定 | 第39-40页 |
| 3.3.3 薄膜沉积性能初探 | 第40-41页 |
| 3.4 结果与讨论 | 第41-47页 |
| 3.4.1 合成与表征 | 第41-42页 |
| 3.4.2 性能分析 | 第42-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 脒/胍基SiMe3Cl衍生物的合成及性能研究 | 第49-68页 |
| 4.1 引言 | 第49-50页 |
| 4.2 实验部分 | 第50-55页 |
| 4.2.1 试剂和实验仪器 | 第50页 |
| 4.2.2 合成与表征 | 第50-52页 |
| 4.2.3 单晶结构表征 | 第52-55页 |
| 4.3 性能测试 | 第55-57页 |
| 4.3.1 挥发性与热稳定性 | 第55页 |
| 4.3.2 蒸汽压测定 | 第55-56页 |
| 4.3.3 薄膜沉积性能初探 | 第56-57页 |
| 4.4 结果与讨论 | 第57-67页 |
| 4.4.1 合成与表征 | 第57-60页 |
| 4.4.2 理论计算 | 第60-62页 |
| 4.4.3 性能分析 | 第62-67页 |
| 4.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 2-氨基吡啶基SiMe3Cl衍生物的合成及性能研究 | 第68-81页 |
| 5.1 引言 | 第68页 |
| 5.2 实验部分 | 第68-72页 |
| 5.2.1 试剂和实验仪器 | 第68-69页 |
| 5.2.2 合成与表征 | 第69-72页 |
| 5.3 性能测试 | 第72-73页 |
| 5.3.1 挥发性与热稳定性 | 第72页 |
| 5.3.2 蒸汽压测定 | 第72-73页 |
| 5.3.3 薄膜沉积性能初探 | 第73页 |
| 5.4 结果与讨论 | 第73-80页 |
| 5.4.1 合成与表征 | 第73-74页 |
| 5.4.2 理论计算 | 第74-75页 |
| 5.4.3 性能分析 | 第75-80页 |
| 5.5 本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 β-二亚胺基SiMe3Cl衍生物的合成及性能研究 | 第81-93页 |
| 6.1 引言 | 第81-82页 |
| 6.2 实验部分 | 第82-84页 |
| 6.2.1 试剂和实验仪器 | 第82页 |
| 6.2.2 合成与表征 | 第82-84页 |
| 6.3 性能测试 | 第84-86页 |
| 6.3.1 挥发性与热稳定性 | 第84页 |
| 6.3.2 蒸汽压测定 | 第84-85页 |
| 6.3.3 薄膜沉积性能初探 | 第85-86页 |
| 6.4 结果与讨论 | 第86-92页 |
| 6.4.1 合成与表征 | 第86页 |
| 6.4.2 理论计算 | 第86-87页 |
| 6.4.3 性能分析 | 第87-92页 |
| 6.5 本章小结 | 第92-93页 |
| 第七章 全文结论与工作展望 | 第93-95页 |
| 7.1 全文结论 | 第93-94页 |
| 7.2 工作展望 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 博士期间发表论文 | 第114-115页 |
| 附录 | 第115-188页 |
