| 摘 要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 概论 | 第7-14页 |
| 1.1 研制仪器的目的和意义 | 第7页 |
| 1.2 表面测量技术及测量仪器的发展 | 第7-11页 |
| 1.3 表面评定参数的发展 | 第11-12页 |
| 1.4 虚拟仪器的发展 | 第12页 |
| 1.5 本文的主要工作 | 第12-14页 |
| 2 仪器的整体结构和光学系统设计 | 第14-21页 |
| 2.1 仪器整体结构设计和工作原理 | 第14-15页 |
| 2.2 光学传感结构设计 | 第15-18页 |
| 2.3 影响干涉条纹间隔宽度的因素分析 | 第18-19页 |
| 2.4 光源的选择 | 第19页 |
| 2.5 光路中光学元件的要求 | 第19-20页 |
| 2.6 本章小结 | 第20-21页 |
| 3 干涉条纹处理方法及硬件处理电路研究 | 第21-31页 |
| 3.1 电路整体功能设计 | 第21页 |
| 3.2 光电信号处理技术 | 第21-24页 |
| 3.3 数字信号处理技术 | 第24-27页 |
| 3.4 A/D细分和与计算机的通讯 | 第27-30页 |
| 3.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 4 虚拟仪器用户程序设计 | 第31-38页 |
| 4.1 LabWindows/CVI虚拟仪器开发平台 | 第31页 |
| 4.2 基于LabWindows/CVI的应用程序设计 | 第31-37页 |
| 4.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 5 拟合和滤波的数学模型 | 第38-43页 |
| 5.1 最小二乘直线法 | 第38页 |
| 5.2 最小二乘中位面法 | 第38-40页 |
| 5.3 最小二乘圆法 | 第40-41页 |
| 5.4 最小二乘多项式法 | 第41-42页 |
| 5.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 6 误差分析与实验 | 第43-54页 |
| 6.1 被测高度与光程差之间误差分析和补偿 | 第43-47页 |
| 6.2 干涉条纹信号实时质量分析 | 第47-49页 |
| 6.3 工作台轨迹误差及其分离 | 第49-50页 |
| 6.4 仪器的精度测试 | 第50-51页 |
| 6.5 应用测量 | 第51-53页 |
| 6.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 7 总结与展望 | 第54-56页 |
| 7.1 全文总结 | 第54-55页 |
| 7.2 展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 附录1 攻读学位期间发表学术论文目录 | 第60-61页 |
| 附录2 光路结构与被测工件实物图 | 第61-62页 |
| 附录3 电路实物图 | 第62-63页 |
| 附录4 单片机与计算机通讯程序框图 | 第63页 |