| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题的研究背景、目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外的研究现状及分析 | 第10-14页 |
| 1.2.1 同步移相干涉理论的发展 | 第10-11页 |
| 1.2.2 同步移相干涉技术的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.3 移相干涉共焦技术的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 本课题需要解决的问题 | 第14-15页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 光栅分光式移相干涉差分共焦原理 | 第16-37页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 光栅分光式同步移相干涉原理 | 第16-23页 |
| 2.2.1 正交相位光栅衍射特性分析 | 第16-19页 |
| 2.2.2 同步移相干涉理论分析 | 第19-23页 |
| 2.3 差分共焦显微技术理论分析 | 第23-32页 |
| 2.3.1 理想点物的共焦显微成像系统特征分析 | 第27-29页 |
| 2.3.2 理想平面镜的共焦显微成像系统特征分析 | 第29-30页 |
| 2.3.3 基于光瞳移焦效应的差分共焦原理分析 | 第30-32页 |
| 2.4 光栅分光式移相干涉差分共焦位移探测模型建立 | 第32-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 分光系统与移相系统设计与分析 | 第37-46页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 分光系统设计 | 第37-41页 |
| 3.2.1 正交相位光栅设计 | 第37-40页 |
| 3.2.2 光阑结构设计 | 第40-41页 |
| 3.3 移相误差分析与结构设计 | 第41-45页 |
| 3.3.1 移相误差分析 | 第41-42页 |
| 3.3.2 四象限移相器设计 | 第42-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 离焦探测特性分析与分瞳式光瞳设计 | 第46-53页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 有限针孔离焦探测分析 | 第46-49页 |
| 4.2.1 有限针孔共焦系统轴向响应特性分析 | 第46-48页 |
| 4.2.2 有限针孔差分共焦最佳离焦量分析 | 第48-49页 |
| 4.3 分瞳式相位光瞳结构设计 | 第49-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 实验及结果分析 | 第53-63页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 同步移相干涉位移测量实验 | 第53-59页 |
| 5.2.1 实验装置 | 第53-54页 |
| 5.2.2 同步移相干涉特性实验 | 第54-56页 |
| 5.2.3 同步移相干涉位移测量分辨力实验 | 第56页 |
| 5.2.4 同步移相干涉稳定性实验 | 第56-58页 |
| 5.2.5 同步移相干涉位移测量重复性实验 | 第58-59页 |
| 5.3 移相干涉差分共焦系统实验 | 第59-61页 |
| 5.3.1 移相干涉差分共焦系统移焦特性实验 | 第60-61页 |
| 5.3.2 差分共焦分辨力实验 | 第61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |