| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 论文的选题背景 | 第11-21页 |
| 1.1.1 显示器及其发展状况 | 第11-12页 |
| 1.1.2 柔性显示器制造用的柔性衬底材料及其加工的关键技术 | 第12-14页 |
| 1.1.3 化学机械抛光技术简介 | 第14-15页 |
| 1.1.4 传统化学机械抛光机种类及特点 | 第15-19页 |
| 1.1.5 化学机械抛光机国内外研究现状 | 第19-21页 |
| 1.2 课题的来源、研究目的及意义 | 第21页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第21-22页 |
| 1.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 2 抛光部件的运动机理分析及总体结构方案设计 | 第23-34页 |
| 2.1 化学机械抛光机不同抛光部件的运动机理分析 | 第23-26页 |
| 2.1.1 Roll-to-Roll盘式抛光机的运动模型建立和运动参数影响分析 | 第23-25页 |
| 2.1.2 Roll-to-Roll辊式抛光机的运动模型建立和运动参数影响分析 | 第25-26页 |
| 2.2 化学机械抛光机总体结构方案的确定 | 第26-32页 |
| 2.2.1Roll-to-Roll式抛光机功能模块的组成 | 第26-31页 |
| 2.2.2Roll-to-Roll辊式抛光机设计方案的确定 | 第31-32页 |
| 2.3 本章小结 | 第32-34页 |
| 3 CMP抛光机本体结构设计 | 第34-66页 |
| 3.1 抛光机主要设计依据 | 第34-41页 |
| 3.1.1 不锈钢片化学机械抛光实验数据 | 第34-38页 |
| 3.1.2 传统抛光机化学机械抛光工艺常用参数 | 第38-40页 |
| 3.1.3 化学机械抛光工件与抛光垫产生的最大摩擦力 | 第40-41页 |
| 3.2 粗、精抛光部件设计 | 第41-55页 |
| 3.2.1 粗、精抛光辊结构的设计计算 | 第41-49页 |
| 3.2.2 加压机构设计 | 第49-52页 |
| 3.2.3 粗、精抛光传动系统 | 第52-55页 |
| 3.3 收、放卷部件设计 | 第55-59页 |
| 3.3.1 收、放卷辊结构设计 | 第55-57页 |
| 3.3.2 收、放卷传动系统 | 第57-59页 |
| 3.3.3 花键轴套的支承架设计 | 第59页 |
| 3.4 不锈钢带驱动部件设计 | 第59-60页 |
| 3.5 其他结构部件 | 第60-65页 |
| 3.5.1 抛光液输送装置 | 第60-62页 |
| 3.5.2 钢带清洗、干燥装置 | 第62-64页 |
| 3.5.3 张力调节辊设计 | 第64页 |
| 3.5.4 机架结构设计 | 第64-65页 |
| 3.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 4 CMP抛光机的控制系统 | 第66-72页 |
| 4.1 电机的转速控制 | 第66-68页 |
| 4.1.1 交流变频调速技术 | 第66-67页 |
| 4.1.2 变频器选型及布置 | 第67-68页 |
| 4.2 不锈钢钢带的张力控制 | 第68-70页 |
| 4.2.1 钢带卷取方式 | 第68页 |
| 4.2.2 张力控制方法 | 第68-69页 |
| 4.2.3 张力控制方案 | 第69-70页 |
| 4.3 抛光液流量及扇形大小的控制 | 第70-71页 |
| 4.3.1 流量控制 | 第70页 |
| 4.3.2 喷射扇形大小的控制 | 第70-71页 |
| 4.4 其他参数的控制 | 第71-72页 |
| 4.4.1 风幕风速及温度控制 | 第71页 |
| 4.4.2 压力控制 | 第71-72页 |
| 4.6 本章小结 | 第72页 |
| 5 结论与展望 | 第72-73页 |
| 5.1 研究结论 | 第72-73页 |
| 5.2 研究展望 | 第73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 个人简历 | 第79页 |
