| 摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第14-42页 |
| 1.1 引言 | 第14页 |
| 1.2 纳米金属多层膜概述 | 第14-18页 |
| 1.2.1 纳米金属多层膜定义 | 第14-15页 |
| 1.2.2 纳米金属多层膜的性能特点 | 第15-18页 |
| 1.3 纳米多层膜的微观结构特征与尺度效应 | 第18-22页 |
| 1.3.1 多层膜的异质界面结构与尺度的关系 | 第18-21页 |
| 1.3.2 多层膜中的堆垛层错与孪晶 | 第21页 |
| 1.3.3 择优取向(织构) | 第21-22页 |
| 1.4 纳米金属多层膜力学性能的尺度效应 | 第22-32页 |
| 1.4.1 多层膜的强度与尺度效应 | 第22-23页 |
| 1.4.2 多层膜的强化机制 | 第23-30页 |
| 1.4.3 多层膜的弹性模量与尺度效应 | 第30-31页 |
| 1.4.4 多层膜的蠕变行为与尺度效应 | 第31-32页 |
| 1.5 本文主要研究内容和意义 | 第32-34页 |
| 参考文献 | 第34-42页 |
| 第二章 纳米金属多层膜的制备及分析测试方法 | 第42-51页 |
| 2.1 纳米金属多层膜的制备 | 第42-44页 |
| 2.1.1 磁控溅射技术 | 第42-43页 |
| 2.1.2 磁控溅射工艺 | 第43-44页 |
| 2.2 多层膜的微观结构表征方法 | 第44-46页 |
| 2.2.1 X射线衍射分析 | 第44页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜分析 | 第44页 |
| 2.2.3 透射电子显微镜分析 | 第44-45页 |
| 2.2.4 四探针测电阻法 | 第45-46页 |
| 2.3 多层膜力学性能测试方法 | 第46-50页 |
| 2.3.1 压入硬度和弹性模量 | 第47-49页 |
| 2.3.2 压入蠕变 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |
| 第三章 Cu/Ta纳米多层膜微观结构与力学性能的尺度效应 | 第51-73页 |
| 3.1 Cu/Ta纳米多层膜的制备 | 第51-52页 |
| 3.2 Cu/Ta纳米多层膜的微观结构与尺度效应 | 第52-58页 |
| 3.2.1 Cu/Ta纳米多层膜的微观结构 | 第52-55页 |
| 3.2.2 稳定相结构α-Ta的形成与尺度效应 | 第55-58页 |
| 3.3 Cu/Ta纳米多层膜的力学性能与尺度效应 | 第58-68页 |
| 3.3.1 Cu/Ta纳米多层膜的硬/强度与尺度效应 | 第58-59页 |
| 3.3.2 Cu/Ta纳米多层膜的强化机制 | 第59-61页 |
| 3.3.3 Cu/Ta纳米多层膜的弹性模量与尺度效应 | 第61页 |
| 3.3.4 Cu/Ta纳米多层膜的室温蠕变行为与尺度效应 | 第61-68页 |
| 3.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 第四章 Ag/Cu纳米多层膜微观结构与力学性能的尺度效应 | 第73-101页 |
| 4.1 Ag/Cu纳米多层膜的制备 | 第74页 |
| 4.2 Ag/Cu纳米多层膜的微观结构与尺度效应 | 第74-78页 |
| 4.3 Ag/Cu纳米多层膜的力学性能与尺度效应 | 第78-89页 |
| 4.3.1 Ag/Cu纳米多层膜的硬/强度与尺度效应 | 第79-80页 |
| 4.3.2 Ag/Cu纳米多层膜的强化机制 | 第80-83页 |
| 4.3.3 Ag/Cu纳米多层膜的弹性模量与尺度效应 | 第83-84页 |
| 4.3.4 Ag/Cu纳米多层膜的室温蠕变行为与尺度效应 | 第84-89页 |
| 4.4 Ag/Cu纳米多层膜的力/电学综合性能与尺度效应 | 第89-95页 |
| 4.4.1 Ag/Cu纳米多层膜的电阻率与尺度效应 | 第89-92页 |
| 4.4.2 Ag/Cu纳米多层膜的力/电学综合性能的评价 | 第92-95页 |
| 4.5 本章小结 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-101页 |
| 第五章 Ag/Nb纳米多层膜微观结构与力学性能的尺度效应 | 第101-121页 |
| 5.1 Ag/Nb纳米多层膜的制备 | 第102页 |
| 5.2 Ag/Nb纳米多层膜的微观结构与尺度效应 | 第102-109页 |
| 5.2.1 Ag/Nb纳米多层膜的XRD结果分析 | 第102-104页 |
| 5.2.2 Ag/Nb纳米多层膜的TEM结果分析 | 第104-109页 |
| 5.3 Ag/Cu纳米多层膜的力学性能与尺度效应 | 第109-116页 |
| 5.3.1 Ag/Nb纳米多层膜的硬/强度与尺度效应 | 第110-112页 |
| 5.3.2 Ag/Nb纳米多层膜的弹性模量与尺度效应 | 第112-113页 |
| 5.3.3 Ag/Nb纳米多层膜的室温蠕变行为与尺度效应 | 第113-116页 |
| 5.4 本章小结 | 第116-118页 |
| 参考文献 | 第118-121页 |
| 第六章 结论与展望 | 第121-124页 |
| 6.1 结论 | 第121-122页 |
| 6.2 工作展望 | 第122-124页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第124-125页 |
| 致谢 | 第125-127页 |
