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TiAlSiN复合涂层的制备及抗氧化机理研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-17页
    1.1 课题背景第10-11页
    1.2 PVD表面技术的概述第11-12页
        1.2.1 真空蒸镀第11页
        1.2.2 溅射沉积第11-12页
        1.2.3 离子镀第12页
    1.3 PVD硬质涂层刀具的发展与趋势第12-15页
        1.3.1 TiN/TiC二元涂层第12-13页
        1.3.2 Ti(Al,C)N三元涂层第13-14页
        1.3.3 TiAlSiN复合涂层第14-15页
    1.4 本课题的研究意义和内容第15-17页
        1.4.1 课题的来源及研究意义第15页
        1.4.2 本课题研究内容第15-17页
第2章 PVD涂层的制备与性能表征第17-28页
    2.1 涂层设备及原理第17-19页
        2.1.1 阴极电弧离子镀设备第17-18页
        2.1.2 PVD装置原理第18-19页
    2.2 薄膜的制备第19-21页
        2.2.1 试样的选择与预处理第19页
        2.2.2 PVD涂层的制备第19-21页
    2.3 涂层性能表征第21-27页
        2.3.1 涂层形貌分析第21页
        2.3.2 涂层成分分析第21-22页
        2.3.3 结构特性分析第22页
        2.3.4 涂层厚度检测第22-24页
        2.3.5 涂层硬度测量第24-25页
        2.3.6 涂层结合强度的测量第25-26页
        2.3.7 摩擦性能测试第26页
        2.3.8 涂层抗氧化性能的研究第26-27页
    2.4 本章小结第27-28页
第3章 TiAlSiN涂层的设计及抗氧化性能研究第28-42页
    3.1 涂层的设计原则第28页
    3.2 TiAlSiN涂层的制备第28-30页
    3.3 高温氧化实验第30-40页
        3.3.1 TiAlSiN的实验结果研究第31-36页
        3.3.2 TiN高温氧化行为研究第36-38页
        3.3.3 TiAlN涂层第38-40页
    3.4 本章小结第40-42页
第4章 涂层高温抗氧化性能对干式切削的影响第42-51页
    4.1 铣削实验第42-44页
        4.1.1 刀具材料第42页
        4.1.2 加工材料的选择第42-43页
        4.1.3 实验条件第43-44页
    4.2 实验方案第44-45页
    4.3 实验结果与分析第45-46页
        4.3.1 刀头寿命比较第45-46页
        4.3.2 磨损量比较第46页
        4.3.3 涂层热传导特性分析第46页
    4.4 高温磨损性能研究第46-50页
    4.5 本章小结第50-51页
第5章 结论与展望第51-53页
    5.1 全文总结第51-52页
    5.2 研究展望第52-53页
参考文献第53-58页
致谢第58-59页
攻读学位期间所开展的科研项目和发表的学术论文第59页

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