| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 SEM介绍 | 第9-11页 |
| 1.1.1 SEM的工作原理及特点 | 第9-10页 |
| 1.1.2 SEM的结构 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 基于扫描探针显微镜的纳米操作系统 | 第12-13页 |
| 1.2.2 基于扫描电子显微镜的纳米操作系统 | 第13-15页 |
| 1.3 课题研究的目的及意义 | 第15-16页 |
| 1.4 课题的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 SEM中多自由度机器人操作平台研制 | 第18-31页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 SEM中多自由度机器人操作平台总体设计 | 第18-27页 |
| 2.2.1 设计空间分析 | 第18-20页 |
| 2.2.2 平台方案设计 | 第20页 |
| 2.2.3 运动模块参数化设定与选型 | 第20-23页 |
| 2.2.4 机构系统集成 | 第23-25页 |
| 2.2.5 控制部分 | 第25-26页 |
| 2.2.6 执行模块 | 第26-27页 |
| 2.3 SEM中多自由度机器人操作部件的优化设计 | 第27-30页 |
| 2.3.1 夹持器改进 | 第28-29页 |
| 2.3.2 末端执行更换系统 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 SEM中多自由度机器人运动学分析 与系统搭建 | 第31-40页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 多自由度机器人的运动学分析 | 第31-35页 |
| 3.3 系统的搭建与调试 | 第35-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 多自由度机器人操作平台实验研究 | 第40-49页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 多自由度机器人的操作策略 | 第40-42页 |
| 4.3 碳纳米管拾取实验 | 第42-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 攻读学位期间科研成果 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |