原子层沉积AZO薄膜及晶硅表面钝化研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·AZO 结构与掺杂 | 第10-12页 |
| ·AZO 薄膜光电性质 | 第12-15页 |
| ·AZO 薄膜的光学特性 | 第12-13页 |
| ·AZO 薄膜的电学特性 | 第13-15页 |
| ·AZO 薄膜制备方法 | 第15-18页 |
| ·磁控溅射 | 第15-16页 |
| ·金属有机物化学气相沉积 | 第16页 |
| ·原子层沉积 | 第16-18页 |
| ·AZO 薄膜在太阳能电池上的应用 | 第18-21页 |
| ·本课题的研究意义与内容 | 第21-22页 |
| 2 原子层沉积制备 AZO 薄膜与表征方法 | 第22-29页 |
| ·实验原料及预处理 | 第22页 |
| ·原子层沉积设备及操作流程 | 第22-24页 |
| ·实验方案设计 | 第24-26页 |
| ·AZO 薄膜沉积方法及改进 | 第24-25页 |
| ·AZO 薄膜制备方案设计 | 第25-26页 |
| ·AZO 薄膜钝化方案设计 | 第26页 |
| ·检测仪器 | 第26-29页 |
| 3 铝锌循环比例对 AZO 薄膜性能的影响 | 第29-38页 |
| ·AZO 薄膜生长速率 | 第29-30页 |
| ·AZO 薄膜晶体结构 | 第30-31页 |
| ·AZO 薄膜表面形貌 | 第31-32页 |
| ·AZO 薄膜成分分析 | 第32-33页 |
| ·AZO 薄膜电学性能 | 第33-34页 |
| ·AZO 薄膜光学性能 | 第34-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 4 沉积温度对 AZO 薄膜结构及性能的影响 | 第38-46页 |
| ·AZO 薄膜生长速率 | 第38-39页 |
| ·AZO 薄膜晶体结构 | 第39-41页 |
| ·AZO 薄膜电学性能 | 第41-42页 |
| ·AZO 薄膜透射光谱分析 | 第42-43页 |
| ·AZO 薄膜光致发光谱分析 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 5 AZO 表面钝化晶硅太阳能电池 | 第46-54页 |
| ·AZO 表面钝化技术的提出 | 第46-48页 |
| ·AZO 薄膜厚度对晶硅钝化性能的影响 | 第48-49页 |
| ·退火工艺对晶硅钝化性能的影响 | 第49-51页 |
| ·AZO 薄膜钝化晶硅机制 | 第51-53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| 6 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻读硕士期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
