干涉测量中PZT移相伸长量反馈传感器的设计研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-10页 |
| ·课题的研究背景 | 第7-8页 |
| ·电容测微技术在国内外的研究现状 | 第8-9页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第9-10页 |
| 2 平板式电容传感器概述 | 第10-19页 |
| ·微小位移传感器发展 | 第10-12页 |
| ·应变式位移传感器 | 第10-11页 |
| ·LVDT位移传感器 | 第11页 |
| ·平板式电容传感器 | 第11-12页 |
| ·平板式电容传感器的工作原理及等效电路 | 第12-15页 |
| ·常用电容测量电路 | 第15-17页 |
| ·充/放电法电容检测电路 | 第15-16页 |
| ·交流电桥法电容检测电路 | 第16页 |
| ·谐振法电容检测电路 | 第16页 |
| ·运算放大器法电容检测电路 | 第16-17页 |
| ·平板式电容传感器设计要点 | 第17-18页 |
| ·平板式电容传感器边缘效应的消除 | 第17-18页 |
| ·屏蔽电缆驱动技术 | 第18页 |
| ·小结 | 第18-19页 |
| 3 PZT伸长量反馈系统设计 | 第19-35页 |
| ·基于AD7746的数字式电容传感器设计 | 第19-25页 |
| ·AD7746结构与特性 | 第19-21页 |
| ·AD7746基本工作原理 | 第21-23页 |
| ·AD7746工作模式 | 第23页 |
| ·电容传感器硬件设计 | 第23-25页 |
| ·基于AD5791的PZT驱动信号设计 | 第25-29页 |
| ·AD5791结构特性 | 第26-27页 |
| ·AD5791工作模式 | 第27-28页 |
| ·AD5791电压输出自校准 | 第28页 |
| ·PZT驱动信号模块硬件设计 | 第28-29页 |
| ·主控模块与程序设计 | 第29-34页 |
| ·主控模块 | 第29-30页 |
| ·程序设计 | 第30-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 4 PZT伸长量反馈系统标定与实验 | 第35-51页 |
| ·PZT驱动信号模块实验与误差分析 | 第35-38页 |
| ·PZT驱动信号模块实验 | 第35-37页 |
| ·PZT驱动信号模块误差分析 | 第37-38页 |
| ·电容传感器模块比对实验与误差分析 | 第38-45页 |
| ·传感器装调及参数仿真 | 第38-39页 |
| ·传感器稳定性实验 | 第39-41页 |
| ·传感器分辨能力及线性度实验 | 第41-43页 |
| ·传感器模块误差分析 | 第43-45页 |
| ·PZT伸长量反馈实验 | 第45-49页 |
| ·试验平台搭建 | 第46-47页 |
| ·移相器反馈实验及非线性校正 | 第47-49页 |
| ·小结 | 第49-51页 |
| 5 总结与展望 | 第51-53页 |
| ·文章总结 | 第51页 |
| ·进一步的工作和展望 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 附录 | 第58页 |
