| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的晶体结构、性质及应用 | 第10-13页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的晶体结构 | 第10-11页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的性质 | 第11-12页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的应用 | 第12-13页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的沉积原理 | 第13-14页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的研究进展 | 第14-18页 |
| ·大面积均匀金刚石薄膜的研究进展 | 第14-15页 |
| ·CVD 金刚石薄膜涂层刀具的研究进展 | 第15-17页 |
| ·热管理材料用 CVD 金刚石薄膜的研究进展 | 第17-18页 |
| ·研究背景和内容 | 第18-20页 |
| 第2章 CVD 金刚石薄膜的制备及分析测试方法 | 第20-26页 |
| ·薄膜制备装置 | 第20页 |
| ·薄膜样品的制备 | 第20-21页 |
| ·衬底材料的选择及预处理过程 | 第20-21页 |
| ·薄膜制备工艺流程 | 第21页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的表征 | 第21-23页 |
| ·光学显微镜 | 第21页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第21-22页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM）及能谱仪（EDS） | 第22-23页 |
| ·Raman 光谱 | 第23页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的性能测试 | 第23-26页 |
| ·平面度测试 | 第23页 |
| ·电阻率测试 | 第23-24页 |
| ·粘结强度测试 | 第24页 |
| ·热扩散测试 | 第24-26页 |
| 第3章 大面积 CVD 金刚石薄膜的制备工艺及均匀性研究 | 第26-42页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·CVD 金刚石薄膜大面积制备常见问题分析 | 第26-28页 |
| ·衬底变形 | 第26-27页 |
| ·边缘效应 | 第27-28页 |
| ·阴影效应 | 第28页 |
| ·大面积 CVD 金刚石薄膜的制备技术 | 第28-31页 |
| ·工艺设备改造 | 第28-30页 |
| ·沉积工艺改进 | 第30页 |
| ·大面积金刚石薄膜的制备 | 第30-31页 |
| ·衬底旋转对金刚石薄膜生长的影响 | 第31-33页 |
| ·衬底旋转对金刚石薄膜晶粒度的影响 | 第31页 |
| ·衬底旋转对金刚石薄膜膜厚的影响 | 第31-33页 |
| ·衬底旋转对金刚石薄膜生长机制的影响 | 第33页 |
| ·灯丝非等距布置对衬底温度场均匀性的影响 | 第33-37页 |
| ·HFCVD 系统热分析 | 第34页 |
| ·有限元分析模型 | 第34-35页 |
| ·模拟结果 | 第35-36页 |
| ·衬底温度场均匀性影响衬底变形的原因分析 | 第36-37页 |
| ·大面积 CVD 金刚石薄膜的均匀性分析 | 第37-41页 |
| ·平面度分析 | 第37页 |
| ·膜厚均匀性分析 | 第37-38页 |
| ·晶粒度均匀性分析 | 第38-39页 |
| ·电阻率均匀性分析 | 第39-40页 |
| ·质量均匀性分析 | 第40-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 第4章 CVD 金刚石薄膜晶粒度控制及表面粗糙度研究 | 第42-50页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·CVD 金刚石薄膜晶粒度研究 | 第42-47页 |
| ·影响金刚石薄膜晶粒度的工艺因素 | 第42-43页 |
| ·沉积气压对金刚石薄膜晶粒度的影响 | 第43-44页 |
| ·极低气压下纳米金刚石薄膜的制备 | 第44-46页 |
| ·纳米金刚石薄膜沉积机理分析 | 第46-47页 |
| ·CVD 金刚石薄膜表面粗糙度研究 | 第47-48页 |
| ·预处理工艺对单晶硅片表面粗糙度的影响 | 第47-48页 |
| ·沉积气压对金刚石薄膜表面粗糙度的影响 | 第48页 |
| ·小结 | 第48-50页 |
| 第5章 基于刀具涂层的金刚石薄膜制备工艺及粘结性能研究 | 第50-58页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·预处理工艺的改进及对涂层刀具粘结性能的影响 | 第50-55页 |
| ·组合预处理工艺 | 第50-51页 |
| ·预处理工艺对金刚石薄膜涂层形核密度的影响 | 第51-53页 |
| ·预处理工艺对金刚石薄膜涂层粘结性能的影响 | 第53-55页 |
| ·沉积工艺对金刚石薄膜涂层粘结性能的影响 | 第55-57页 |
| ·沉积气压对金刚石薄膜涂层粘结性能的影响 | 第55-56页 |
| ·碳源浓度对金刚石薄膜涂层粘结性能的影响 | 第56-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第6章 用作热管理材料的金刚石薄膜制备工艺及导热性能研究 | 第58-64页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·结构因素对 CVD 金刚石薄膜热导率的影响 | 第58-62页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的质量对热导率的影响 | 第59-60页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的晶粒取向对热导率的影响 | 第60-61页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的晶粒尺寸对热导率的影响 | 第61-62页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的膜厚对热导率的影响 | 第62页 |
| ·高热导 CVD 金刚石薄膜制备工艺的优化 | 第62-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 附录 A 攻读硕士期间所发表的学术论文目录 | 第72-73页 |
