| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-29页 |
| ·纳米技术的发展 | 第15-17页 |
| ·原子力显微镜的应用和发展 | 第17-21页 |
| ·原子力显微镜的产生 | 第17-18页 |
| ·原子力显微镜的成像机理 | 第18-20页 |
| ·原子力显微镜应用热点－力学测量 | 第20-21页 |
| ·微悬臂梁制造与应用 | 第21-22页 |
| ·微悬臂梁刚度测量的研究现状 | 第22-27页 |
| ·课题来源与研究意义 | 第27-28页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第28-29页 |
| 第2章 微悬臂梁频率响应特性研究 | 第29-42页 |
| ·引言 | 第29-30页 |
| ·微悬臂梁振动分析 | 第30-35页 |
| ·矩形微悬臂梁弯曲振动模型 | 第30-32页 |
| ·V 形微悬臂梁弯曲振动模型 | 第32-35页 |
| ·基于有限元法的微悬臂梁频率响应特性仿真 | 第35-39页 |
| ·微悬臂梁振动有限元分析法 | 第35-36页 |
| ·算例与分析 | 第36-39页 |
| ·杨氏模量与离面弯曲固有频率关系模型 | 第39-41页 |
| ·矩形微悬臂梁 | 第39-40页 |
| ·V 形微悬臂梁振动影响因素分析 | 第40页 |
| ·计算与分析 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 流体环境对微悬臂梁频率响应影响研究 | 第42-61页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·简化分析法 | 第42-46页 |
| ·等效一维振动模型 | 第42-44页 |
| ·算例与分析 | 第44-46页 |
| ·微悬臂梁尺寸效应和流固耦合效应 | 第46-49页 |
| ·微纳米结构的尺寸效应 | 第46-47页 |
| ·微悬臂梁的流固耦合效应 | 第47-49页 |
| ·简化气弹模型方法 | 第49-54页 |
| ·简化气弹模型 | 第49-51页 |
| ·基于Fluent 的流体附加参数测试 | 第51-53页 |
| ·算例与分析 | 第53-54页 |
| ·计算流体力学方法 | 第54-60页 |
| ·流固耦合有限元方程 | 第55-56页 |
| ·实施步骤 | 第56-57页 |
| ·算例与分析 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第4章 微悬臂梁刚度测量方法研究 | 第61-80页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·微悬臂梁杨氏模量测试 | 第61-70页 |
| ·基于纳米压痕机的静态测试法 | 第62-64页 |
| ·动态测量 | 第64-70页 |
| ·微悬臂梁刚度测量 | 第70-73页 |
| ·SEM 照片分析 | 第70页 |
| ·有限元模型建立 | 第70-72页 |
| ·计算结果 | 第72-73页 |
| ·刚度测量结果与分析 | 第73-79页 |
| ·矩形微悬臂梁 | 第74-76页 |
| ·V 形微悬臂梁 | 第76-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第5章 微悬臂梁刚度校正 | 第80-98页 |
| ·前言 | 第80页 |
| ·安装倾斜角对刚度的影响分析 | 第80-85页 |
| ·微悬臂梁倾斜模型 | 第80-81页 |
| ·考虑倾斜角影响的微悬臂梁刚度校正方法 | 第81-82页 |
| ·微悬臂梁倾斜对基于AFM 的纳米力学实验的影响分析 | 第82-84页 |
| ·V 形微悬臂梁 | 第84-85页 |
| ·针尖位置对微悬臂刚度的影响分析 | 第85-87页 |
| ·法向刚度 | 第85-86页 |
| ·径向刚度 | 第86-87页 |
| ·算例与分析 | 第87页 |
| ·接触刚度对微悬臂梁刚度影响的分析 | 第87-92页 |
| ·法向接触刚度 | 第88-89页 |
| ·径向接触刚度 | 第89页 |
| ·对基于AFM 微小力测量实验的影响 | 第89-92页 |
| ·面内变形对刚度的影响分析 | 第92-96页 |
| ·矩形微悬臂梁 | 第92-94页 |
| ·V 形微悬臂梁 | 第94-95页 |
| ·算例与分析 | 第95-96页 |
| ·等效刚度综合校正 | 第96-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 结论 | 第98-100页 |
| 参考文献 | 第100-109页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第109-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 个人简历 | 第112页 |