含硼(B)光电子材料的理论计算和实验研究
摘要 | 第1-6页 |
ABSTRACT | 第6-10页 |
第1章 绪论 | 第10-21页 |
·光电子集成的意义、背景和面临的困难 | 第10-11页 |
·光电子集成的途径 | 第11-17页 |
·大失配异质外延生长技术的现状和发展、以及不足 | 第12-16页 |
·晶片键合技术(Wafer Bonding) | 第16-17页 |
·光电子集成的另一个途径——发现新材料 | 第17-18页 |
·论文的结构安排 | 第18页 |
·本章小结 | 第18-19页 |
参考文献 | 第19-21页 |
第2章 BGaAs等材料的理论计算 | 第21-50页 |
·论基础 | 第21-30页 |
·晶胞组成介绍 | 第21-23页 |
·CASTEP的有关理论 | 第23-28页 |
·形成焓 | 第28-29页 |
·CASTEP仿真计算软件介绍 | 第29页 |
·Vegard的定理 | 第29-30页 |
·计算方法和计算过程 | 第30-34页 |
·建模方法 | 第31-32页 |
·计算方法的选择 | 第32-33页 |
·计算过程 | 第33-34页 |
·B的二元系材料的计算过程和结果 | 第34-37页 |
·BAs的有关性质 | 第35-36页 |
·BSb和BP的计算结果 | 第36-37页 |
·BInAs材料的计算 | 第37-44页 |
·晶格常数的计算 | 第37-38页 |
·能带的计算 | 第38-41页 |
·用8原子结构计算结果 | 第41-43页 |
·焓和总能量的计算 | 第43-44页 |
·BGaAs材料的计算 | 第44-48页 |
·能带和晶格常数 | 第45-46页 |
·焓和总能量的计算 | 第46-48页 |
·本章小结 | 第48-49页 |
参考文献 | 第49-50页 |
第3章 MOCVD生长设备的原理和相关的测试技术 | 第50-60页 |
·MOCVD生长技术 | 第50-54页 |
·MOCVD的原理 | 第50-54页 |
·XRD测试技术 | 第54-55页 |
·原理 | 第54页 |
·性能指标参数 | 第54-55页 |
·测试指标 | 第55页 |
·扫描电子显微镜(SEM)技术 | 第55-56页 |
·电子能谱(XPS)技术 | 第56-57页 |
·透射电子显微镜(TEM) | 第57-58页 |
·光致发光技术(PL谱) | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-60页 |
第4章 BGaAs、BlnGaAs材料的实验研究 | 第60-75页 |
·BGaAS异质外延生长和测试 | 第60-67页 |
·实验条件及方案 | 第60-62页 |
·实验数据的测量 | 第62-64页 |
·数据结果的分析 | 第64-66页 |
·总结 | 第66-67页 |
·BInGaAs的异质外延生长情况 | 第67-72页 |
·生长条件及测试结果 | 第67-71页 |
·实验数据分析结果 | 第71-72页 |
·本章小结 | 第72-73页 |
参考文献 | 第73-75页 |
致谢 | 第75-77页 |
攻读硕士期间发表的论文 | 第77页 |