| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·半导体制造的特点 | 第9-11页 |
| ·半导体制程介绍 | 第11-14页 |
| ·半导体行业术语 | 第14-15页 |
| ·本文的结构安排 | 第15页 |
| 参考文献 | 第15-17页 |
| 第二章 半导体生产线投料控制与调度优化 | 第17-30页 |
| ·投料控制策略 | 第17-20页 |
| ·调度控制 | 第20-28页 |
| ·分派法则 | 第20-25页 |
| ·基于模型的调度策略 | 第25-28页 |
| 参考文献 | 第28-30页 |
| 第三章 半导体仿真系统设计的基本方法 | 第30-51页 |
| ·离散事件系统仿真 | 第30-39页 |
| ·基本概念 | 第30-31页 |
| ·仿真钟的推进 | 第31-32页 |
| ·离散事件仿真的一般过程 | 第32-33页 |
| ·离散事件系统的仿真策略 | 第33-39页 |
| ·面向对象系统的结构设计 | 第39-41页 |
| ·蚁群算法用于优化搜索 | 第41-49页 |
| ·蚁群算法基本原理 | 第41-45页 |
| ·基本蚁群算法思路 | 第41-43页 |
| ·用于求解旅行商问题的蚁群算法定义 | 第43-45页 |
| ·改进的蚁群算法 | 第45-47页 |
| ·蚁群算法的改进思路 | 第45-46页 |
| ·蚁群算法改进实例 | 第46-47页 |
| ·蚁群算法求解Flowshop 调度优化问题 | 第47-48页 |
| ·蚁群算法在半导体制造系统中的应用 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |
| 第四章 半导体仿真模型 | 第51-59页 |
| ·SEMATECH 数据集介绍 | 第51-54页 |
| ·基本信息 | 第51-52页 |
| ·FAB 仿真模型 | 第52-54页 |
| ·仿真实现 | 第54-57页 |
| ·半导体生产调度软件介绍 | 第54-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 第五章 仿真实验与结果分析 | 第59-68页 |
| ·仿真实验简介 | 第59页 |
| ·SENTECH SET1 数据CONWIP 系统仿真试验 | 第59-60页 |
| ·蚁群算法与调度策略仿真比较 | 第60-65页 |
| ·半导体生产线导入新产品仿真试验 | 第65-66页 |
| ·总结 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第69页 |