| 提要 | 第1-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| ·课题的来源和研究意义 | 第13-14页 |
| ·课题来源 | 第13页 |
| ·课题研究背景 | 第13-14页 |
| ·压电驱动机构的研究现状 | 第14-24页 |
| ·压电超声波驱动器 | 第14-15页 |
| ·压电直动式驱动器 | 第15-17页 |
| ·压电步进驱动器 | 第17-19页 |
| ·压电惯性式驱动器 | 第19-24页 |
| ·压电驱动机构研究中存在的问题及发展趋势 | 第24-25页 |
| ·存在问题 | 第24-25页 |
| ·发展趋势 | 第25页 |
| ·本文选题的意义和研究内容 | 第25-28页 |
| ·选题意义 | 第25-26页 |
| ·研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 平面惯性压电移动机构关键技术分析 | 第28-54页 |
| ·压电效应与压电方程 | 第28-31页 |
| ·压电效应/逆压电效应 | 第28页 |
| ·压电元件的工作模式 | 第28-29页 |
| ·压电方程 | 第29-31页 |
| ·压电叠堆 | 第31-48页 |
| ·压电叠堆的工作原理 | 第31-32页 |
| ·压电叠堆的电机械模型 | 第32-37页 |
| ·压电叠堆的有限元分析 | 第37-40页 |
| ·压电叠堆惯性动力学特性分析 | 第40-42页 |
| ·压电叠堆迟滞非线性研究 | 第42-45页 |
| ·基于Preisach 模型的压电叠堆滞回特性分析 | 第45-48页 |
| ·惯性驱动-摩擦基本理论 | 第48-53页 |
| ·摩擦模型的特性 | 第48-51页 |
| ·惯性移动机构运动仿真分析 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 平面直线惯性压电叠堆移动机构设计及实验研究 | 第54-69页 |
| ·平面直线惯性压电叠堆移动机构的运动机理 | 第54-56页 |
| ·惯性压电移动机构运动机理 | 第54页 |
| ·平面惯性压电叠堆移动机构运动机理 | 第54-55页 |
| ·平面惯性压电叠堆移动机构运动条件分析 | 第55-56页 |
| ·平面惯性压电叠堆移动机构的动力学建模 | 第56-57页 |
| ·平面惯性压电叠堆移动机构的 Matlab 动力学仿真分析 | 第57-60页 |
| ·平面惯性压电叠堆移动机构阶跃响应 | 第57-58页 |
| ·平面惯性压电叠堆移动机构频率响应特性 | 第58页 |
| ·平面惯性压电叠堆移动机构输出位移、速度特性 | 第58-59页 |
| ·平面惯性压电叠堆移动机构摩擦阻力 | 第59-60页 |
| ·平面惯性压电叠堆移动机构实验研究 | 第60-64页 |
| ·平面直线惯性压电叠堆移动机构实验样机 | 第60页 |
| ·测试系统的组成及测试方法 | 第60-61页 |
| ·平面直线惯性压电叠堆移动机构能测试 | 第61页 |
| ·平面直线惯性压电叠堆移动机构正、反向运动速度曲线 | 第61-62页 |
| ·平面直线惯性压电叠堆移动机构速度和电压、频率之间的关系 | 第62-63页 |
| ·平面直线惯性压电叠堆移动机构步长与电压、频率的关系 | 第63页 |
| ·平面直线惯性压电叠堆移动机构承载性能测试 | 第63-64页 |
| ·平面直线惯性压电叠堆移动机构线性偏差测试 | 第64页 |
| ·基于90·V 型导轨平面直线惯性压电叠堆移动机构实验研究 | 第64-68页 |
| ·V 型导轨 | 第64-66页 |
| ·基于90·V 型导轨移动机构的结构设计 | 第66-67页 |
| ·基于90·V 型导轨移动机构的频率、电压与步长关系 | 第67页 |
| ·基于90·V 型导轨移动机构的频率、电压－速度关系 | 第67-68页 |
| ·基于90·V 型导轨移动机构直线性误差测试 | 第68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第4章 平面惯性压电叠堆旋转机构设计及实验研究 | 第69-86页 |
| ·平面惯性压电叠堆旋转机构结构设计及理论分析 | 第69-71页 |
| ·平面惯性压电叠堆旋转机构结构设计 | 第69-70页 |
| ·平面惯性压电叠堆旋转机构理论分析 | 第70-71页 |
| ·平面惯性压电叠堆旋转机构动力学模型 | 第71-73页 |
| ·平面惯性压电叠堆旋转机构状态方程 | 第71-72页 |
| ·平面惯性压电叠堆旋转机构动力学仿真时摩擦的处理 | 第72-73页 |
| ·平面惯性压电叠堆旋转机构试验与仿真对比研究 | 第73-76页 |
| ·旋转机构结构参数 | 第73页 |
| ·旋转机构运动性能 | 第73-74页 |
| ·旋转机构的旋转步长与电压、频率的关系 | 第74-75页 |
| ·驱动机构转速实验测试 | 第75页 |
| ·转子径向跳动 | 第75-76页 |
| ·驱动叠堆角度可调式惯性旋转机构的研究 | 第76-82页 |
| ·驱动叠堆角度可调式旋转移动机构结构设计 | 第76-77页 |
| ·驱动叠堆角度可调式旋转机构试验样机及测试系统 | 第77页 |
| ·改进的旋转机构步长与压电叠堆电压、频率的关系 | 第77-78页 |
| ·改进的旋转机构角速度与压电叠堆电压的关系 | 第78页 |
| ·改进的旋转机构不同斜面角度与旋转运动步长、速度的关系 | 第78-79页 |
| ·改进的旋转机构转子径向跳动 | 第79页 |
| ·改进的旋转移动机构连续工作的稳定性 | 第79-80页 |
| ·改进的旋转移动机构转子不同位置启动的运转状况 | 第80-82页 |
| ·影响平面惯性压电叠堆旋转机构精度的因素分析 | 第82-84页 |
| ·加工精度误差 | 第82-83页 |
| ·安装误差 | 第83页 |
| ·测量误差 | 第83-84页 |
| ·环境带来的误差 | 第84页 |
| ·驱动误差 | 第84页 |
| ·本章小节 | 第84-86页 |
| 第5章 平面3 自由度惯性压电叠堆移动机构研究 | 第86-102页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构结构及工作原理 | 第86-87页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构结构设计 | 第86页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构的运动实现 | 第86-87页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构的动力学模型 | 第87-90页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构水平方向动力学模型 | 第87-88页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构垂直方向动力学模型 | 第88页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构底面摩擦力（矩）模型 | 第88-89页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构动力学仿真模型 | 第89-90页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构仿真分析 | 第90-91页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构的运动情况仿真 | 第90页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构步长与驱动电压间的关系 | 第90-91页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构步长与摩擦系数间的关系 | 第91页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构步长与载荷关系 | 第91页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构的试验研究 | 第91-96页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构样机结构及参数 | 第92页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构运动性能测试 | 第92页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构运动步长与接触面间摩擦系数关系 | 第92-94页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构运动步长与承载能力间关系 | 第94-95页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构步长与电压、频率的关系 | 第95页 |
| ·平面3 自由度惯性压电移动机构运动速度及干涉误差分析 | 第95-96页 |
| ·输出耦合控制系统的组成 | 第96-98页 |
| ·输出耦合控制系统的硬件组成 | 第96-97页 |
| ·输出耦合控制系统的工作原理 | 第97-98页 |
| ·平移/旋转干涉误差闭环控制系统 | 第98-101页 |
| ·平移/旋转干涉误差闭环控制原理 | 第98-99页 |
| ·基于LabVIEW 的定位停止控制系统的编译 | 第99-100页 |
| ·平移/旋转干涉误差闭环控制系统实验分析 | 第100-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 第6章 平面惯性压电叠堆移动机构控制系统研究 | 第102-114页 |
| ·输入整形技术研究 | 第102-105页 |
| ·输入整形器基本概念 | 第103-104页 |
| ·基于零极点对消法的输入整形器的分析与设计 | 第104-105页 |
| ·平面惯性压电叠堆移动机构残余振荡消除 | 第105-107页 |
| ·平面惯性移动机构模型建立 | 第105-106页 |
| ·基于输入整形技术的平面惯性移动机构残余振荡消除 | 第106-107页 |
| ·平面惯性移动机构前馈开环控制技术研究 | 第107-109页 |
| ·简单定位开环控制 | 第107-108页 |
| ·双前馈开环定位控制 | 第108-109页 |
| ·平面惯性移动基都混合闭环控制技术研究 | 第109-113页 |
| ·混合控制器结构 | 第109-112页 |
| ·平面惯性移动机构闭环精度控制 | 第112-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 第7章 结论及展望 | 第114-117页 |
| ·研究总结 | 第114-115页 |
| ·研究创新 | 第115页 |
| ·研究展望 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-127页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文 | 第127页 |
| 攻读博士期间申请的国家专利 | 第127-129页 |
| 攻读博士期间参加的科研项目 | 第129-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |
| 摘要 | 第131-134页 |
| ABSTRACT | 第134-137页 |
