| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第12页 |
| ·微小变化量测量的现状 | 第12-16页 |
| ·几何光学探针检测法 | 第12-15页 |
| ·物理光学探针检测法 | 第15-16页 |
| ·各种测量方法的比较 | 第16-17页 |
| ·课题来源及测量方案的制定 | 第17-18页 |
| ·课题主要内容 | 第18-19页 |
| 第二章 系统总体方案设计 | 第19-24页 |
| ·系统总体方案设计 | 第19-21页 |
| ·干涉测量介绍 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 像散法离焦误差检测定位系统设计 | 第24-34页 |
| ·像散法离焦误差检测定位系统原理设计 | 第24-25页 |
| ·像散法离焦误差检测定位系统光学模型分析 | 第25-28页 |
| ·像散法离焦误差信号MATLAB 仿真分析 | 第28-30页 |
| ·像散法离焦误差检测系统光学元器件的选取 | 第30-33页 |
| ·光源的选择 | 第30页 |
| ·聚焦透镜的选择 | 第30-31页 |
| ·四象限探测器的选择 | 第31-33页 |
| ·柱面镜的选择 | 第33页 |
| ·压电陶瓷的选择 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 信号处理电路的设计和实现 | 第34-48页 |
| ·光电转换电路和运算电路的设计和实现 | 第34-36页 |
| ·电流-电压转换电路 | 第34-35页 |
| ·运算电路的设计和实现 | 第35-36页 |
| ·压电陶瓷驱动电路和30 0V 稳压直流电源的设计 | 第36-39页 |
| ·30 0V 稳压直流电源设计 | 第36-37页 |
| ·压电陶瓷驱动电路设计 | 第37-39页 |
| ·基于DSP的A/D采集和 D/A输出以及串口通信(SCI)电路的设计 | 第39-47页 |
| ·A/D 采样芯片和D/A 输出芯片的选择 | 第39页 |
| ·基于DSP的A/D 采集电路设计 | 第39-43页 |
| ·基于DSP的D/A 输出电路设计 | 第43-46页 |
| ·基于DSP的串口通信（SCI）电路设计 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 滤波、PID控制算法和SCI 与LabVIEW 的通信实现 | 第48-53页 |
| ·滤波的设计和实现 | 第48-50页 |
| ·PID控制算法的实现 | 第50-51页 |
| ·PID控制介绍 | 第50页 |
| ·数字增量式PID控制实现 | 第50-51页 |
| ·SCI 与LabVIEW 的通信实现 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 实验及误差分析 | 第53-64页 |
| ·离焦误差检测系统特性曲线测量实验 | 第53-54页 |
| ·激光器光功率稳定性测试实验 | 第54-55页 |
| ·前级放大电路稳定性测试实验 | 第55-56页 |
| ·运算电路稳定性测试实验 | 第56-57页 |
| ·滤波实验 | 第57-58页 |
| ·PID 控制实验 | 第58-60页 |
| ·单点稳定性实验 | 第60-61页 |
| ·定位分辨率估算 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第七章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第69页 |
