厚膜电容压力传感器的微位移测量研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-7页
目录	第7-11页
第一章 绪论	第11-16页
·电容式传感器	第11-13页
·精密微位移测量综述	第13-14页
·厚膜电容压力传感器	第14-15页
·本文的研究内容和意义	第15-16页
第二章 厚膜电容压力传感器的工作原理	第16-27页
·电容式压力传感器的原理	第16-17页
·电容式传感器的数学模型的建立	第17-26页
·平行板电容式传感器的数学模型	第17-18页
·平行板电容器的工作原理	第18-26页
·本章小结	第26-27页
第三章 传感器膜片弯曲分析	第27-44页
·圆形板的弯曲分析	第27-29页
·承受均匀载荷的圆形板	第29-33页
·夹支圆形板	第30-32页
·简支圆形板	第32-33页
·中心有圆孔的圆形板	第33-36页
·承受同心圆载荷的圆形板	第36-41页
·承受集中载荷的圆形板	第41-44页
第四章 传感器非线性分析	第44-59页
·温度引起的非线性误差	第44-45页
·边缘效应引起的非线性	第45-46页
·挠性形变引起的非线性	第46-52页
·电容型厚膜微位移传感器结构	第46-47页
·均布载荷模型	第47-49页
·集中载荷模型	第49-50页
·同心圆载荷模型	第50-52页
·仿真分析	第52-57页
·本章小结	第57-59页
第五章 结束语	第59-61页
参考文献	第61-64页
致谢	第64-65页