| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外直线驱动精密定位工作台研究现状 | 第13-18页 |
| 1.2.1 国外直线驱动精密定位工作台研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.2 国内直线驱动精密定位工作台研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.3 精密定位工作台驱动技术综述 | 第17-18页 |
| 1.3 直线电机概述 | 第18-24页 |
| 1.3.1 直线电机的基本工作原理和特点 | 第19-21页 |
| 1.3.2 直线电机的分类与应用 | 第21-23页 |
| 1.3.3 直线电机的控制 | 第23-24页 |
| 1.4 课题来源与主要研究内容 | 第24-26页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第24页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第24-26页 |
| 第二章 二维精密定位工作台系统搭建 | 第26-35页 |
| 2.1 工作台搭建 | 第26-32页 |
| 2.1.1 驱动系统的选择 | 第26-27页 |
| 2.1.2 导向系统的选择 | 第27-29页 |
| 2.1.3 检测系统的选择 | 第29-30页 |
| 2.1.4 工作台底座的选择 | 第30页 |
| 2.1.5 控制器的选择 | 第30-32页 |
| 2.2 基于PMAC的运动轨迹设计及实现 | 第32-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 二维精密定位工作台的控制与系统调试 | 第35-47页 |
| 3.1 二维精密定位工作台的控制 | 第35-36页 |
| 3.2 PID控制算法 | 第36-38页 |
| 3.2.1 经典PID控制算法 | 第36-37页 |
| 3.2.2 数字PID控制算法 | 第37-38页 |
| 3.3 二维精密定位工作台的控制系统调试 | 第38-46页 |
| 3.3.1 控制参数整定 | 第38-40页 |
| 3.3.2 开环特性调试 | 第40页 |
| 3.3.3 稳态特性调试 | 第40-43页 |
| 3.3.4 瞬态特性调试 | 第43-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 二维精密定位工作台的运动特性 | 第47-61页 |
| 4.1 运动轨迹命令 | 第47-48页 |
| 4.2 控制参数对二维工作台运动性能的影响 | 第48-54页 |
| 4.2.1 实验步骤 | 第48-49页 |
| 4.2.2 实验结果及分析 | 第49-54页 |
| 4.3 负载对二维工作台运动性能的影响 | 第54-57页 |
| 4.3.1 实验步骤 | 第54-55页 |
| 4.3.2 实验结果及分析 | 第55-57页 |
| 4.4 控制参数的优化 | 第57-60页 |
| 4.4.1 优化方法选取 | 第57页 |
| 4.4.2 控制参数优化 | 第57-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 二维精密定位工作台的定位精度和重复定位精度 | 第61-70页 |
| 5.1 定位精度和重复定位精度检测原理 | 第61-62页 |
| 5.2 定位精度和重复定位精度检测参考标准 | 第62-64页 |
| 5.2.1 定位精度和重复定位精度检测模型 | 第62-63页 |
| 5.2.2 精度相关计算公式 | 第63-64页 |
| 5.3 工作台定位精度和重复定位精度的检测 | 第64-67页 |
| 5.3.1 检测条件 | 第64-66页 |
| 5.3.2 检测结果 | 第66-67页 |
| 5.4 负载对定位精度和重复定位精度的影响 | 第67-68页 |
| 5.4.1 实验条件 | 第67页 |
| 5.4.2 实验结果及分析 | 第67-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-70页 |
| 总结与展望 | 第70-73页 |
| 总结 | 第70-71页 |
| 展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 攻读硕士期间科研成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |