| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 MEMS半球陀螺 | 第10-12页 |
| 1.2.2 陀螺检测系统 | 第12-15页 |
| 1.3 论文结构安排 | 第15-17页 |
| 第二章 MEMS半球陀螺敏感单元 | 第17-24页 |
| 2.1 傅科摆与科氏效应 | 第17-19页 |
| 2.2 MEMS半球陀螺工作原理 | 第19-21页 |
| 2.3 MEMS半球陀螺结构及工艺 | 第21-22页 |
| 2.4 MEMS半球陀螺性能指标 | 第22-23页 |
| 2.4.1 谐振频率 | 第22页 |
| 2.4.2 品质因数 | 第22-23页 |
| 2.4.3 标度因数 | 第23页 |
| 2.4.4 零输出 | 第23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 接口电路设计 | 第24-38页 |
| 3.1 敏感电容信号提取电路 | 第24-27页 |
| 3.1.1 电荷放大器 | 第24-25页 |
| 3.1.2 跨阻放大器 | 第25-26页 |
| 3.1.3 开关电容 | 第26-27页 |
| 3.2 解调电路 | 第27-30页 |
| 3.2.1 包络检波 | 第28页 |
| 3.2.2 乘法器解调 | 第28-29页 |
| 3.2.3 开关解调 | 第29-30页 |
| 3.3 滤波放大电路 | 第30-31页 |
| 3.4 电路噪声分析 | 第31-35页 |
| 3.5 电路仿真 | 第35-37页 |
| 3.6 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 驱动与敏感检测环路设计 | 第38-52页 |
| 4.1 驱动环路 | 第38-44页 |
| 4.1.1 锁相环 | 第38-40页 |
| 4.1.2 自动增益控制 | 第40-42页 |
| 4.1.3 驱动闭环仿真 | 第42-44页 |
| 4.2 敏感环路 | 第44-51页 |
| 4.2.1 敏感检测开环回路 | 第44-46页 |
| 4.2.2 敏感检测闭环回路 | 第46-48页 |
| 4.2.3 正交误差补偿 | 第48-50页 |
| 4.2.4 敏感环路仿真 | 第50-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 基于锁相放大器的陀螺性能检测系统 | 第52-62页 |
| 5.1 接口电路的实现 | 第52-54页 |
| 5.1.1 电源模块 | 第52页 |
| 5.1.2 激励信号模块 | 第52-53页 |
| 5.1.3 检测模块 | 第53页 |
| 5.1.4 PCB版图设计与优化 | 第53-54页 |
| 5.2 驱动和敏感环路的实现 | 第54-61页 |
| 5.2.1 锁相放大器 | 第55-57页 |
| 5.2.2 基于锁相放大器的半球陀螺驱动与敏感环路 | 第57-61页 |
| 5.2.2.1 驱动环路的实现 | 第57-59页 |
| 5.2.2.2 敏感环路的实现 | 第59-61页 |
| 5.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 测试结果 | 第62-71页 |
| 6.1 接口电路噪声测试 | 第62-63页 |
| 6.2 谐振性能测试 | 第63-67页 |
| 6.2.1 谐振频率测试 | 第64-66页 |
| 6.2.2 品质因数测试 | 第66-67页 |
| 6.3 陀螺功能测试 | 第67-70页 |
| 6.3.1 标度因数测试 | 第68页 |
| 6.3.2 零输出及其稳定性测试 | 第68-70页 |
| 6.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第七章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 7.1 总结 | 第71页 |
| 7.2 展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 发表论文情况 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |