| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 可调滤波器的基本原理及分类 | 第11-14页 |
| 1.2.1 机械调谐滤波器 | 第12页 |
| 1.2.2 磁调谐滤波器 | 第12-13页 |
| 1.2.3 电调谐滤波器 | 第13-14页 |
| 1.3 铁电材料及可调滤波器的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 BST薄膜制备与性能研究 | 第19-31页 |
| 2.1 BST材料结构与性能 | 第19页 |
| 2.2 BST薄膜制备方法及其特点 | 第19-20页 |
| 2.3 BST铁电薄膜制备过程 | 第20-26页 |
| 2.3.1 基片选择及底电极制备 | 第21-22页 |
| 2.3.2 射频磁控溅射BST薄膜 | 第22-25页 |
| 2.3.3 薄膜电容上电极制作 | 第25-26页 |
| 2.4 BST薄膜的性能测试结果及分析 | 第26-30页 |
| 2.4.1 X-ray Diffraction (XRD)测试 | 第26-27页 |
| 2.4.2 Atomic Force Microscope (AFM)测试 | 第27页 |
| 2.4.3 BST薄膜厚度的测量 | 第27-28页 |
| 2.4.4 C-V测试 | 第28-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 可调滤波器的设计与仿真 | 第31-47页 |
| 3.1 微波滤波器基础理论 | 第31-34页 |
| 3.1.1 微波滤波器的分类 | 第31-32页 |
| 3.1.2 微波可调滤波器的主要参数 | 第32页 |
| 3.1.3 散射参量S | 第32-33页 |
| 3.1.4 微带滤波器损耗的影响因素 | 第33-34页 |
| 3.2 可调微带带通滤波器的设计 | 第34-39页 |
| 3.2.1 设计原理 | 第34-35页 |
| 3.2.2 理论计算 | 第35-38页 |
| 3.2.3 版图结构 | 第38-39页 |
| 3.3 微带可调带通滤波器的仿真分析 | 第39-42页 |
| 3.4 工艺因素对器件性能影响的仿真分析 | 第42-46页 |
| 3.4.1 薄膜介电常数和损耗对器件性能的影响 | 第42-44页 |
| 3.4.2 制作过程中的误差对器件性能的影响 | 第44-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 铁电薄膜可调微带带通滤波器的工艺制作与测试 | 第47-61页 |
| 4.1 铁电薄膜可调微带带通滤波器的制作工艺 | 第47-55页 |
| 4.1.1 光刻工艺简介 | 第47-50页 |
| 4.1.2 BST铁电薄膜图形化 | 第50-52页 |
| 4.1.3 上电极图形化 | 第52页 |
| 4.1.4 上电极电镀加厚 | 第52-55页 |
| 4.2 铁电薄膜可调微带带通滤波器的测试 | 第55-59页 |
| 4.2.1 器件的封装 | 第55页 |
| 4.2.2 测试仪器 | 第55-56页 |
| 4.2.3 测试结果及分析 | 第56-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 可调微带带通滤波器的优化 | 第61-69页 |
| 5.1 器件的结构优化 | 第61-67页 |
| 5.2 器件制作工艺的优化 | 第67-68页 |
| 5.3 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 结论 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第76-77页 |
