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铁电薄膜可调微带带通滤波器的研制

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-19页
    1.1 研究背景第10-11页
    1.2 可调滤波器的基本原理及分类第11-14页
        1.2.1 机械调谐滤波器第12页
        1.2.2 磁调谐滤波器第12-13页
        1.2.3 电调谐滤波器第13-14页
    1.3 铁电材料及可调滤波器的研究现状第14-17页
    1.4 本论文的主要研究内容第17-19页
第二章 BST薄膜制备与性能研究第19-31页
    2.1 BST材料结构与性能第19页
    2.2 BST薄膜制备方法及其特点第19-20页
    2.3 BST铁电薄膜制备过程第20-26页
        2.3.1 基片选择及底电极制备第21-22页
        2.3.2 射频磁控溅射BST薄膜第22-25页
        2.3.3 薄膜电容上电极制作第25-26页
    2.4 BST薄膜的性能测试结果及分析第26-30页
        2.4.1 X-ray Diffraction (XRD)测试第26-27页
        2.4.2 Atomic Force Microscope (AFM)测试第27页
        2.4.3 BST薄膜厚度的测量第27-28页
        2.4.4 C-V测试第28-30页
    2.5 本章小结第30-31页
第三章 可调滤波器的设计与仿真第31-47页
    3.1 微波滤波器基础理论第31-34页
        3.1.1 微波滤波器的分类第31-32页
        3.1.2 微波可调滤波器的主要参数第32页
        3.1.3 散射参量S第32-33页
        3.1.4 微带滤波器损耗的影响因素第33-34页
    3.2 可调微带带通滤波器的设计第34-39页
        3.2.1 设计原理第34-35页
        3.2.2 理论计算第35-38页
        3.2.3 版图结构第38-39页
    3.3 微带可调带通滤波器的仿真分析第39-42页
    3.4 工艺因素对器件性能影响的仿真分析第42-46页
        3.4.1 薄膜介电常数和损耗对器件性能的影响第42-44页
        3.4.2 制作过程中的误差对器件性能的影响第44-46页
    3.5 本章小结第46-47页
第四章 铁电薄膜可调微带带通滤波器的工艺制作与测试第47-61页
    4.1 铁电薄膜可调微带带通滤波器的制作工艺第47-55页
        4.1.1 光刻工艺简介第47-50页
        4.1.2 BST铁电薄膜图形化第50-52页
        4.1.3 上电极图形化第52页
        4.1.4 上电极电镀加厚第52-55页
    4.2 铁电薄膜可调微带带通滤波器的测试第55-59页
        4.2.1 器件的封装第55页
        4.2.2 测试仪器第55-56页
        4.2.3 测试结果及分析第56-59页
    4.3 本章小结第59-61页
第五章 可调微带带通滤波器的优化第61-69页
    5.1 器件的结构优化第61-67页
    5.2 器件制作工艺的优化第67-68页
    5.3 本章小结第68-69页
第六章 结论第69-71页
致谢第71-72页
参考文献第72-76页
攻硕期间取得的研究成果第76-77页

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