| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第10-16页 |
| 1.2.1 国内外在干涉仪领域的研究情况 | 第10-13页 |
| 1.2.2 红外激光外差干涉仪 | 第13页 |
| 1.2.3 MEMS扫描技术 | 第13页 |
| 1.2.4 相位提取算法 | 第13-16页 |
| 1.2.5 数据采集卡 | 第16页 |
| 1.3 论文主要内容 | 第16-18页 |
| 第2章 红外激光外差干涉仪相位提取算法研究 | 第18-26页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 红外激光外差干涉仪工作原理 | 第18-21页 |
| 2.2.1 近红外激光光源 | 第18-20页 |
| 2.2.3 MEMS扫描系统工作原理 | 第20-21页 |
| 2.3 最小二乘法 | 第21-22页 |
| 2.4 IQ正交解调法 | 第22-24页 |
| 2.5 FFT变换算法 | 第24-25页 |
| 2.6 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 三种相位差提取算法的数值仿真 | 第26-53页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 MATLAB软件 | 第26-27页 |
| 3.3 硬件 | 第27-28页 |
| 3.4 最小二乘法数值仿真 | 第28-33页 |
| 3.4.1 最小二乘法运算速度及精度研究 | 第28-30页 |
| 3.4.2 采样频率大小对最小二乘法法算法精度的影响 | 第30-31页 |
| 3.4.3 信号频率大小对最小二乘法算法精度的影响 | 第31-32页 |
| 3.4.4 信噪比大小对最小二乘算法精度的影响 | 第32-33页 |
| 3.5 IQ正交解调法数值仿真 | 第33-40页 |
| 3.5.1 IQ正交解调法运算速度及精度研究 | 第33-34页 |
| 3.5.2 采样频率大小对IQ正交解调法算法精度的影响 | 第34-36页 |
| 3.5.3 信号频率大小对IQ正交解调法算法精度的影响 | 第36-37页 |
| 3.5.4 信噪比大小对IQ正交解调法算法精度的影响 | 第37-39页 |
| 3.5.5 周期采样点数对IQ正交解调法算法精度的影响 | 第39-40页 |
| 3.6 FFT变换法数值仿真 | 第40-44页 |
| 3.6.1 FFT变换法运算速度及精度研究 | 第40-41页 |
| 3.6.2 采样频率大小对FFT算法精度的影响 | 第41-42页 |
| 3.6.3 信号频率大小对FFT算法精度的影响 | 第42-43页 |
| 3.6.4 信噪比大小对FFT算法精度的影响 | 第43-44页 |
| 3.7 相位差提取算法比较 | 第44-45页 |
| 3.8 MEMS/F-Theta光学扫描系统的仿真 | 第45-51页 |
| 3.8.1 引言 | 第45页 |
| 3.8.2 扫描光学系统工作方式 | 第45-46页 |
| 3.8.3 MEMS扫描器 | 第46-47页 |
| 3.8.4 MEMS(PE165012)扫描参数选取 | 第47-48页 |
| 3.8.5 数据采集方式 | 第48-49页 |
| 3.8.6 MEMS扫描轨迹研究 | 第49-51页 |
| 3.9 GUI设计 | 第51-52页 |
| 3.10 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 相位差提取算法的半实物仿真与相位跳变处理 | 第53-71页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 实验环境 | 第53-60页 |
| 4.2.1 软件环境 | 第53-54页 |
| 4.2.2 泰克AFG3252任意波形函数发生器 | 第54页 |
| 4.2.3 计算机配置 | 第54-55页 |
| 4.2.4 CS12400数据采集卡 | 第55-60页 |
| 4.2.4.1 CS12400高速数据采集卡参数 | 第56页 |
| 4.2.4.2 高速采集卡硬件板 | 第56-57页 |
| 4.2.4.3 高速数据采集卡基于MATLAB软件开发 | 第57-59页 |
| 4.2.4.4 高速数据采集卡在信号采集中的应用 | 第59-60页 |
| 4.3 FFT算法的半实物仿真 | 第60-64页 |
| 4.3.1 运算速度及精度研究 | 第61页 |
| 4.3.2 采样频率大小对FFT算法精度的影响 | 第61-62页 |
| 4.3.3 信号频率大小对FFT法算法精度的影响 | 第62-63页 |
| 4.3.4 信噪比大小对FFT算法精度的影响 | 第63-64页 |
| 4.4 相位跳变情况的研究 | 第64-70页 |
| 4.4.1 波面相位连续化处理（相位跳变算法）的原理 | 第64-65页 |
| 4.4.2 相位跳变算法的具体研究 | 第65-70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第5章 FFT算法半实物仿真与仿真的对比 | 第71-77页 |
| 5.1 引言 | 第71页 |
| 5.2 运算速度与精度的比较研究 | 第71-72页 |
| 5.3 信号频率大小对两种方式精度的影响 | 第72-73页 |
| 5.4 采样频率为变量的对比研究 | 第73-74页 |
| 5.5 信噪比为变量的对比研究 | 第74-75页 |
| 5.6 误差分析 | 第75页 |
| 5.7 本章小结 | 第75-77页 |
| 结论 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
