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光谱光栅仪中高精度快速波长扫描方法的研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
目录第8-11页
表格索引第11-12页
插图索引第12-14页
第一章 绪论第14-17页
    1.1 引言第14页
    1.2 光栅光谱仪的发展现状第14-15页
    1.3 现有光栅光谱仪的缺陷第15页
    1.4 本论文主要内容第15-17页
第二章 步进电机直接驱动的光栅波长扫描方法第17-50页
    2.1 引言第17页
    2.2 工作原理第17-20页
        2.2.1 光栅分光原理第17页
        2.2.2 一般光栅第17-18页
        2.2.3 闪耀光栅第18-20页
    2.3 光栅光谱仪单色器系统第20-46页
        2.3.1 传动系统第21-28页
        2.3.2 波长扫描系统第28-29页
        2.3.3 控制系统第29-30页
        2.3.4 光检测传感器第30-39页
        2.3.5 光栅光谱仪的硬件第39-43页
        2.3.6 光栅光谱仪的软件第43-46页
    2.4 实验测试第46-49页
        2.4.1 定标第46-47页
        2.4.2 准确度和重复性的测量第47-48页
        2.4.3 数据分析第48-49页
    2.5 小结第49-50页
第三章 谐波电机直接驱动光栅的波长扫描方法第50-57页
    3.1 引言第50页
    3.2 谐波电机第50-54页
        3.2.1 谐波电机介绍第50-51页
        3.2.2 谐波电机结构第51页
        3.2.3 控制原理第51-52页
        3.2.4 谐波电机驱动电路设计第52-54页
    3.3 实验测试第54-56页
        3.3.1 准确度和重复性的测量第54-55页
        3.3.2 数据分析第55-56页
    3.4 小结第56-57页
第四章 运用光栅莫尔条纹的波长扫描方法第57-68页
    4.1 引言第57页
    4.2 莫尔条纹技术第57-62页
        4.2.1 莫尔条纹第57-58页
        4.2.2 光栅尺传感器第58-61页
        4.2.3 光栅尺传感器的优势第61-62页
    4.3 光谱仪光路结构的设计第62-63页
        4.3.1 光路结构的改进第62-63页
        4.3.2 控制硬件的改进第63页
    4.4 实验测试第63-67页
        4.4.1 准确度和重复性的测量第65页
        4.4.2 数据分析第65-67页
    4.5 小结第67-68页
第五章 运用多边形棱柱旋转反射镜的波长扫描方法第68-78页
    5.1 引言第68页
    5.2 位置敏感探测器PSD第68-69页
    5.3 多边形棱柱反射镜第69-71页
    5.4 系统的结构第71-73页
    5.5 系统硬件电路结构第73-74页
    5.6 实验测试第74-77页
        5.6.1 准确度和重复性的测量第74-76页
        5.6.2 数据分析第76-77页
    5.7 小结第77-78页
全文总结第78-80页
参考文献第80-83页
致谢第83-84页
攻读学位论文期间发表的学术论文目录第84-86页

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