光谱光栅仪中高精度快速波长扫描方法的研究
摘要 | 第5-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
目录 | 第8-11页 |
表格索引 | 第11-12页 |
插图索引 | 第12-14页 |
第一章 绪论 | 第14-17页 |
1.1 引言 | 第14页 |
1.2 光栅光谱仪的发展现状 | 第14-15页 |
1.3 现有光栅光谱仪的缺陷 | 第15页 |
1.4 本论文主要内容 | 第15-17页 |
第二章 步进电机直接驱动的光栅波长扫描方法 | 第17-50页 |
2.1 引言 | 第17页 |
2.2 工作原理 | 第17-20页 |
2.2.1 光栅分光原理 | 第17页 |
2.2.2 一般光栅 | 第17-18页 |
2.2.3 闪耀光栅 | 第18-20页 |
2.3 光栅光谱仪单色器系统 | 第20-46页 |
2.3.1 传动系统 | 第21-28页 |
2.3.2 波长扫描系统 | 第28-29页 |
2.3.3 控制系统 | 第29-30页 |
2.3.4 光检测传感器 | 第30-39页 |
2.3.5 光栅光谱仪的硬件 | 第39-43页 |
2.3.6 光栅光谱仪的软件 | 第43-46页 |
2.4 实验测试 | 第46-49页 |
2.4.1 定标 | 第46-47页 |
2.4.2 准确度和重复性的测量 | 第47-48页 |
2.4.3 数据分析 | 第48-49页 |
2.5 小结 | 第49-50页 |
第三章 谐波电机直接驱动光栅的波长扫描方法 | 第50-57页 |
3.1 引言 | 第50页 |
3.2 谐波电机 | 第50-54页 |
3.2.1 谐波电机介绍 | 第50-51页 |
3.2.2 谐波电机结构 | 第51页 |
3.2.3 控制原理 | 第51-52页 |
3.2.4 谐波电机驱动电路设计 | 第52-54页 |
3.3 实验测试 | 第54-56页 |
3.3.1 准确度和重复性的测量 | 第54-55页 |
3.3.2 数据分析 | 第55-56页 |
3.4 小结 | 第56-57页 |
第四章 运用光栅莫尔条纹的波长扫描方法 | 第57-68页 |
4.1 引言 | 第57页 |
4.2 莫尔条纹技术 | 第57-62页 |
4.2.1 莫尔条纹 | 第57-58页 |
4.2.2 光栅尺传感器 | 第58-61页 |
4.2.3 光栅尺传感器的优势 | 第61-62页 |
4.3 光谱仪光路结构的设计 | 第62-63页 |
4.3.1 光路结构的改进 | 第62-63页 |
4.3.2 控制硬件的改进 | 第63页 |
4.4 实验测试 | 第63-67页 |
4.4.1 准确度和重复性的测量 | 第65页 |
4.4.2 数据分析 | 第65-67页 |
4.5 小结 | 第67-68页 |
第五章 运用多边形棱柱旋转反射镜的波长扫描方法 | 第68-78页 |
5.1 引言 | 第68页 |
5.2 位置敏感探测器PSD | 第68-69页 |
5.3 多边形棱柱反射镜 | 第69-71页 |
5.4 系统的结构 | 第71-73页 |
5.5 系统硬件电路结构 | 第73-74页 |
5.6 实验测试 | 第74-77页 |
5.6.1 准确度和重复性的测量 | 第74-76页 |
5.6.2 数据分析 | 第76-77页 |
5.7 小结 | 第77-78页 |
全文总结 | 第78-80页 |
参考文献 | 第80-83页 |
致谢 | 第83-84页 |
攻读学位论文期间发表的学术论文目录 | 第84-86页 |