| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-12页 |
| 1.1 等离子体概述 | 第9-10页 |
| 1.2 空心阴极放电 | 第10页 |
| 1.3 空心阴极放电内表面涂层技术 | 第10页 |
| 1.4 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.5 本文创新性 | 第11-12页 |
| 2 PIC/MCC模型介绍 | 第12-25页 |
| 2.1 放电几何及模拟流程图 | 第12-13页 |
| 2.2 粒子初始状态安置及权重分配方法 | 第13-15页 |
| 2.3 解泊松方程并求解粒子受力 | 第15-17页 |
| 2.4 粒子推动方法 | 第17-19页 |
| 2.5 碰撞判断及粒子数控制 | 第19-20页 |
| 2.6 碰撞类型及碰撞截面 | 第20-25页 |
| 3 N_2管子型空心阴极放电表面氮化涂层的空间等离子体特性 | 第25-34页 |
| 3.1 管内粒子(e、N~+、N_2~+)数密度二维空间分布 | 第25-27页 |
| 3.2 管内离子(N~+、N_2~+)平均能量二维空间分布 | 第27-28页 |
| 3.3 管内离子(N~+、N_2~+)径向流密度二维空间分布 | 第28-29页 |
| 3.4 管壁处离子(N~+、N_2~+)的能量分布函数 | 第29-30页 |
| 3.5 电子碰撞率 | 第30-31页 |
| 3.6 氮活性粒子(N~+,N,N_2~+)产生率 | 第31-33页 |
| 3.7 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 放电参数及几何线度对空心阴极放电管子内表面氮化涂层的影响 | 第34-44页 |
| 4.1 径向电场受放电参数(V、P)的影响 | 第34-36页 |
| 4.2 离子(N~+、N_2~+)在管壁上的径向流密度分布受放电参数(V、P)的影响 | 第36-38页 |
| 4.3 几何线度对空心阴极效应的影响 | 第38-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 5 掺Ar对N_2空心阴极放电表面氮化涂层的影响 | 第44-51页 |
| 5.1 掺Ar对放电空间粒子(e、N~+、N_2~+)数密度的影响 | 第44-46页 |
| 5.2 掺Ar对放电空间离子(N~+、N_2~+)平均能量的影响 | 第46-48页 |
| 5.3 掺Ar对管内离子(N~+、N_2~+)径向流密度的影响 | 第48-50页 |
| 5.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 6 总结 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
