相变存储器的工艺集成与优化
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 引言 | 第6-9页 |
| 第一章 相变存储器简介 | 第9-17页 |
| 1.1 相变存储器简介 | 第9-10页 |
| 1.2 相变存储器的工作机理 | 第10-12页 |
| 1.3 相变存储器的优势和产业现状 | 第12-15页 |
| 1.4 相变存储器的电学性能表征 | 第15-16页 |
| 1.5 本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 相变存储单元的工艺优化 | 第17-35页 |
| 2.1 相变存储单元的工艺优化方向 | 第17页 |
| 2.2 相变单元工艺结构的优化与选取 | 第17-31页 |
| 2.2.1 传统电极型结构 | 第17-21页 |
| 2.2.2 环形电极型结构 | 第21-24页 |
| 2.2.3 侧壁型电极结构 | 第24-29页 |
| 2.2.4 其它结构的相变存储单元 | 第29-31页 |
| 2.3 相变材料的选取与优化 | 第31-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 单步工艺优化与整合 | 第35-49页 |
| 3.1 与相变材料相关工艺步骤的优化与整合 | 第35-43页 |
| 3.1.1 相变薄膜以及顶部覆盖层的淀积 | 第35-41页 |
| 3.1.2 相变单元的成型方法 | 第41-43页 |
| 3.2 与电极相关工艺步骤的优化与整合 | 第43-47页 |
| 3.2.1 关于垂直型侧壁电极的淀积方案的讨论 | 第43-44页 |
| 3.2.2 传统电极型结构的工艺优化与整合方案 | 第44-47页 |
| 3.3 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 相变单元的电性测试与失效分析 | 第49-54页 |
| 4.1 关于电性测试中开路单元的失效分析 | 第49-51页 |
| 4.2 关于电性测试中短路单元的失效分析 | 第51-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 在读期间的学术论文和专利情况 | 第60-61页 |
