| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 引言 | 第10-13页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 铝合金轮毂表面处理技术研究现状 | 第11页 |
| 1.3 研究内容和主要技术要求 | 第11-13页 |
| 2 概述 | 第13-20页 |
| 2.1 薄膜制备技术的研究发展 | 第13-14页 |
| 2.1.1 化学气相沉积技术 | 第13页 |
| 2.1.2 物理气相沉积技术 | 第13-14页 |
| 2.1.3 等离子体化学气相沉积技术 | 第14页 |
| 2.2 物理气相沉积技术方法 | 第14-17页 |
| 2.2.1 蒸镀 | 第14-15页 |
| 2.2.2 溅射镀 | 第15-16页 |
| 2.2.3 离子镀 | 第16-17页 |
| 2.3 溅射技术总括 | 第17-20页 |
| 2.3.1 物质的溅射现象 | 第17页 |
| 2.3.2 直流溅射 | 第17页 |
| 2.3.3 射频溅射 | 第17-18页 |
| 2.3.4 磁控溅射 | 第18页 |
| 2.3.5 反应溅射 | 第18页 |
| 2.3.6 非平衡磁控溅射 | 第18-19页 |
| 2.3.7 中频磁控溅射 | 第19-20页 |
| 3 试验材料设备与工艺 | 第20-27页 |
| 3.1 试验材料 | 第20-21页 |
| 3.1.1 实验用基体材料 | 第20页 |
| 3.1.2 基体材料的获得及预处理 | 第20-21页 |
| 3.1.3 试验用靶材及气体 | 第21页 |
| 3.2 试验设备 | 第21-23页 |
| 3.2.1 中频磁控溅射镀膜机 | 第21页 |
| 3.2.2 抽真空系统 | 第21页 |
| 3.2.3 电源控制系统 | 第21-23页 |
| 3.2.4 配气系统 | 第23页 |
| 3.3 检测设备 | 第23页 |
| 3.3.1 分光测色仪 | 第23页 |
| 3.3.2 干涉显微镜 | 第23页 |
| 3.3.3 盐雾腐蚀箱 | 第23页 |
| 3.4 自行设计转架 | 第23-25页 |
| 3.5 磁控溅射镀膜工艺 | 第25-27页 |
| 3.5.1 镀膜前处理 | 第25页 |
| 3.5.2 镀膜工艺流程 | 第25-27页 |
| 4 薄膜结合力的影响因素分析 | 第27-36页 |
| 4.1 前期试验 | 第27-30页 |
| 4.1.1 前期在不锈钢板上溅射 ZrN 薄膜得到的结论 | 第27-28页 |
| 4.1.2 工艺初试 | 第28-29页 |
| 4.1.3 膜层结合力的国家标准 | 第29-30页 |
| 4.2 主轰击对膜基结合力的影响 | 第30-31页 |
| 4.3 基体温度对膜基结合力的影响 | 第31-32页 |
| 4.4 辉光放电清洗时间对膜基结合力的影响 | 第32-33页 |
| 4.5 小结 | 第33-34页 |
| 4.6 工艺验证 | 第34-36页 |
| 5 轮毂漏镀的影响因素分析 | 第36-45页 |
| 5.1 漏镀等级规定 | 第36页 |
| 5.2 溅射时间对轮毂漏镀的影响 | 第36-37页 |
| 5.3 靶功率对轮毂漏镀的影响 | 第37-39页 |
| 5.4 基体温度对轮毂漏镀的影响 | 第39页 |
| 5.5 主轰击对轮毂漏镀的影响 | 第39-40页 |
| 5.6 主轰击实质探讨 | 第40-41页 |
| 5.7 采用多弧靶溅射 ZrN 薄膜的色度测试 | 第41-44页 |
| 5.7.1 氮气流量的调节对 ZrN 薄膜色度的影响 | 第41-42页 |
| 5.7.2 溅射时间的调节对 ZrN 薄膜色度的影响 | 第42-44页 |
| 5.8 小结 | 第44-45页 |
| 6 复合膜层在轮毂上的应用 | 第45-52页 |
| 6.1 Cr/Zr/ZrN 复合膜层的制备 | 第45-47页 |
| 6.1.1 复合膜层工艺方案 | 第45-46页 |
| 6.1.2 膜层的制备与后期亮漆处理 | 第46-47页 |
| 6.2 亮漆开裂影响因素分析 | 第47-50页 |
| 6.2.1 溅射时间对亮漆开裂的影响 | 第47-48页 |
| 6.2.2 膜层数量对亮漆开裂的影响 | 第48-49页 |
| 6.2.3 膜层间应力对亮漆开裂的影响 | 第49-50页 |
| 6.3 Al/ZrN 复合膜层的制备 | 第50页 |
| 6.4 小结 | 第50-52页 |
| 7 金黄色 Al/ZrN 复合膜层色度及性能测试 | 第52-59页 |
| 7.1 颜色模型介绍 | 第52页 |
| 7.2 工艺参数对 Al/ZrN 膜层色度的影响 | 第52-55页 |
| 7.2.1 溅射时间对 Al/ZrN 薄膜颜色的影响 | 第52-53页 |
| 7.2.2 氮气流量对 Al/ZrN 薄膜颜色的影响 | 第53-54页 |
| 7.2.3 Al/ZrN 薄膜与传统工艺颜色对比 | 第54-55页 |
| 7.3 Al/ZrN 膜层性能测试 | 第55-57页 |
| 7.3.1 Al/ZrN 膜层附着力测试 | 第55-56页 |
| 7.3.2 Al/ZrN 膜层耐蚀性测试 | 第56-57页 |
| 7.3.3 Al/ZrN 膜层硬度测试 | 第57页 |
| 7.3.4 Al/ZrN 膜层耐热性测试 | 第57页 |
| 7.4 小结 | 第57-59页 |
| 8 不同色系复合薄膜制备 | 第59-64页 |
| 8.1 银白色复合薄膜的制备 | 第59-60页 |
| 8.2 玫瑰红色复合薄膜的制备 | 第60-61页 |
| 8.3 黑色复合薄膜的制备 | 第61-63页 |
| 8.4 小结 | 第63-64页 |
| 9 结论与展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 作者简历 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
