| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 刀具材料的演变与革新 | 第12-15页 |
| 1.2.1 刀具材料的消耗情况 | 第13页 |
| 1.2.2 硬质合金刀具材料 | 第13-15页 |
| 1.3 刀具涂层材料的发展 | 第15-16页 |
| 1.4 硬质涂层制备技术的发展 | 第16-19页 |
| 1.4.1 真空蒸镀 | 第17页 |
| 1.4.2 多弧离子镀 | 第17-18页 |
| 1.4.3 溅射镀膜 | 第18-19页 |
| 1.5 W-N硬质膜的研究现状 | 第19-21页 |
| 1.6 本论文的主要研究内容及意义 | 第21-22页 |
| 第二章 实验内容与方法 | 第22-28页 |
| 2.1 技术路线 | 第22-23页 |
| 2.2 基体材料的选择与前处理 | 第23-24页 |
| 2.3 薄膜的沉积过程 | 第24-25页 |
| 2.4 薄膜成分、结构和性能的表征 | 第25-28页 |
| 2.4.1 表面接触角和粗糙度 | 第25页 |
| 2.4.2 形貌分析 | 第25-26页 |
| 2.4.3 成分分析 | 第26页 |
| 2.4.4 物相结构分析 | 第26页 |
| 2.4.5 硬度测试 | 第26-27页 |
| 2.4.6 薄膜附着性能分析 | 第27页 |
| 2.4.7 薄膜的摩擦磨损性能分析 | 第27页 |
| 2.4.8 薄膜的耐蚀性能分析 | 第27-28页 |
| 第三章 靶功率对DCMS沉积W-N硬质膜的影响 | 第28-44页 |
| 3.1 前言 | 第28页 |
| 3.2 试样制备 | 第28-29页 |
| 3.3 薄膜成分、结构和性能的表征分析 | 第29-43页 |
| 3.3.1 接触角与表面粗糙度 | 第29-31页 |
| 3.3.2 薄膜的形貌分析 | 第31页 |
| 3.3.3 薄膜成分分析 | 第31-32页 |
| 3.3.4 薄膜的相结构 | 第32-34页 |
| 3.3.5 薄膜的断面分析 | 第34-35页 |
| 3.3.6 薄膜硬度与弹性模量 | 第35-36页 |
| 3.3.7 薄膜的附着性能 | 第36-38页 |
| 3.3.8 薄膜的耐磨性能 | 第38-41页 |
| 3.3.9 薄膜的耐蚀性能 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 N_2/Ar对DCMS沉积W-N硬质膜的影响 | 第44-59页 |
| 4.1 前言 | 第44页 |
| 4.2 试样制备 | 第44-45页 |
| 4.3 薄膜成分、结构和性能的表征分析 | 第45-57页 |
| 4.3.1 表面粗糙度与接触角 | 第45-46页 |
| 4.3.2 薄膜的形貌分析 | 第46-47页 |
| 4.3.3 薄膜成分分析 | 第47-48页 |
| 4.3.4 薄膜的相结构 | 第48-49页 |
| 4.3.5 薄膜的断面分析 | 第49-51页 |
| 4.3.6 薄膜硬度与弹性模量 | 第51页 |
| 4.3.7 薄膜的附着性能 | 第51-53页 |
| 4.3.8 薄膜的耐磨性能 | 第53-55页 |
| 4.3.9 薄膜的耐蚀性能 | 第55-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 HIPAC技术沉积W-N硬质膜及其性能研究 | 第59-69页 |
| 5.1 前言 | 第59页 |
| 5.2 试样制备 | 第59-60页 |
| 5.3 薄膜成分、结构和性能的表征分析 | 第60-68页 |
| 5.3.1 表面接触角与形貌分析 | 第60-62页 |
| 5.3.2 薄膜成分和相结构分析 | 第62页 |
| 5.3.3 薄膜的断面分析与力学性能 | 第62-64页 |
| 5.3.4 薄膜的附着性能 | 第64-65页 |
| 5.3.5 薄膜的耐磨性能 | 第65-66页 |
| 5.3.6 薄膜的耐蚀性能 | 第66-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 结论与展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 附件 | 第78页 |