| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| ·研究背景及意义 | 第11-16页 |
| ·纳米技术研究的重要意义 | 第11-12页 |
| ·压电陶瓷驱动器的特性及存在的主要问题[10] | 第12-16页 |
| ·微位移传感器的研究现状 | 第16-17页 |
| ·微位移传感器的国内外研究进展 | 第16页 |
| ·目前用于检测微位移的方法 | 第16-17页 |
| ·论文的主要研究内容及章节安排 | 第17-20页 |
| ·主要研究内容 | 第17-19页 |
| ·论文的章节安排 | 第19-20页 |
| 第2章 基于柔性铰链的机械放大机构设计[28][29] | 第20-27页 |
| ·用于压电陶瓷驱动器的纳米位移传感器设计要求 | 第20页 |
| ·基于柔性铰链的位移传感器放大机构设计 | 第20-24页 |
| ·基于柔性铰链的位移传感器放大机构概念设计 | 第20-21页 |
| ·基于柔性铰链的放大机构工作原理 | 第21-23页 |
| ·位移传感器的应变片选择 | 第23-24页 |
| ·传感器机械放大机构的优化与改进 | 第24-26页 |
| ·位移传感器第二代放大机构设计 | 第24-25页 |
| ·位移传感器第三代放大机构设计 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 数据采集与处理系统的硬件设计 | 第27-48页 |
| ·系统总体设计 | 第27-28页 |
| ·电桥电路设计[35] | 第28-32页 |
| ·直流电桥平衡条件 | 第28页 |
| ·不平衡电桥的工作原理及输出电压 | 第28-29页 |
| ·电桥的非线性误差及其补偿 | 第29-30页 |
| ·电桥供电电路设计 | 第30-32页 |
| ·放大电路设计 | 第32-36页 |
| ·模拟滤波电路设计 | 第36-38页 |
| ·微控制器及模数转换电路设计 | 第38-42页 |
| ·第三代采集系统中微控制器及模数转换电路设计 | 第38-39页 |
| ·第四代采集系统中微控制器及模数转换电路设计 | 第39-42页 |
| ·通信电路设计 | 第42-43页 |
| ·电桥调零电路设计 | 第43-46页 |
| ·利用下拉电阻实现电桥调零 | 第43-44页 |
| ·利用电位器实现电桥调零 | 第44-45页 |
| ·利用D/A 转换器实现电桥调零 | 第45-46页 |
| ·数据采集与处理系统硬件实物图 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 数据采集与处理系统的软件设计 | 第48-57页 |
| ·设计目标及数据通信协议设计 | 第48-49页 |
| ·下位机固件程序设计 | 第49-50页 |
| ·基于LabVIEW 的人机交互界面设计 | 第50-56页 |
| ·利用NI-VISA 实现通信接口模块设计 | 第52-53页 |
| ·数据格式转换模块设计 | 第53页 |
| ·采集面板控制模块设计 | 第53-54页 |
| ·数据提取及校验模块设计 | 第54页 |
| ·数据处理及显示模块设计 | 第54-56页 |
| ·数据存储模块设计 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 传感器数据采集及处理系统性能测试 | 第57-69页 |
| ·系统测试方案及试验平台的介绍 | 第57-59页 |
| ·系统测试方案 | 第57页 |
| ·P-517 多轴纳米扫描定位平台 | 第57-58页 |
| ·六维力/力矩标定平台 | 第58-59页 |
| ·PI 标定平台位移输入测试结果及传感器静态性能指标测试 | 第59-64页 |
| ·线性度及分辨率测试 | 第59-62页 |
| ·滞差测试 | 第62-63页 |
| ·重复性测试 | 第63-64页 |
| ·六维力标定平台力输入测试结果及性能分析 | 第64-65页 |
| ·位移传感器力输入与位移输入关系研究 | 第65-66页 |
| ·几代数据采集与处理系统性能对比分析 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 工作总结与展望 | 第69-71页 |
| ·工作总结 | 第69-70页 |
| ·工作展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |