| 中文摘要 | 第7-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 符号说明 | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| 1.1 研究背景和研究意义 | 第11-13页 |
| 1.2 研究方向与目的 | 第13-14页 |
| 1.3 主要内容及论文结构 | 第14-15页 |
| 第二章 金属氧化物气敏元件理论基础与工作原理 | 第15-21页 |
| 2.1 气敏材料电子结构 | 第15-17页 |
| 2.2 三种气敏机理和功能 | 第17-19页 |
| 2.3 温变气敏元件工作原理 | 第19-21页 |
| 第三章 温变气敏薄膜元件的设计与制造工艺 | 第21-33页 |
| 3.1 芯片结构设计 | 第21-24页 |
| 3.2 芯片工艺流程设计与制造 | 第24-29页 |
| 3.3 封装工艺流程设计及制造 | 第29-33页 |
| 第四章 温变气敏特性的实验及温变元件检测器的设计 | 第33-41页 |
| 4.1 温变气敏实验的测试原理 | 第33-34页 |
| 4.2 温变气敏实验的实验结果及结论说明 | 第34-39页 |
| 4.3 温变元件检测器的设计 | 第39-41页 |
| 第五章 总结和展望 | 第41-44页 |
| 5.1 总结 | 第41-43页 |
| 5.2 展望 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第48页 |