| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-31页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 半导体气体传感器概述 | 第9-16页 |
| 1.2.1 半导体气体传感器研究进展 | 第9-10页 |
| 1.2.2 半导体气体传感器的参数及类型 | 第10-13页 |
| 1.2.3 半导体气体传感器的气敏机理 | 第13-14页 |
| 1.2.4 气体传感器的应用 | 第14-16页 |
| 1.3 半导体气敏材料的研究现状 | 第16-26页 |
| 1.3.1 纳米材料的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.2 几种典型半导体金属氧化物研究现状 | 第17-26页 |
| 1.4 气体传感性能的影响因素 | 第26-30页 |
| 1.5 本文的选题意义和研究内容 | 第30-31页 |
| 第2章 空心In_2O_3微米球的组装及甲醛气敏性能研究 | 第31-51页 |
| 2.1 引言 | 第31-32页 |
| 2.2 实验部分 | 第32-34页 |
| 2.2.1 实验试剂及原料 | 第32页 |
| 2.2.2 超薄纳米片组装的空心球（UV-In_2O_3-T）的合成 | 第32-33页 |
| 2.2.3 测试仪器及型号 | 第33页 |
| 2.2.4 气体传感器的器件组成及制备 | 第33页 |
| 2.2.5 气体传感器的测试系统 | 第33-34页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第34-49页 |
| 2.3.1 空心微米球（UV-In-OH）的合成及表征 | 第34-39页 |
| 2.3.2 空心In_2O_3微米球的形成及表征 | 第39-43页 |
| 2.3.3 超薄纳米片组装的In_2O_3空心球的气敏性能 | 第43-49页 |
| 2.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第3章 介孔In_2O_3超薄纳米片的制备及NO_x气敏性能研究 | 第51-65页 |
| 3.1 引言 | 第51-52页 |
| 3.2 实验部分 | 第52-53页 |
| 3.2.1 实验试剂及原料 | 第52页 |
| 3.2.2 介孔In_2O_3超薄纳米片的合成 | 第52-53页 |
| 3.2.3 表征仪器 | 第53页 |
| 3.2.4 气体传感器的器件组成及制备 | 第53页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第53-64页 |
| 3.3.1 介孔In_2O_3超薄纳米片的合成及表征 | 第53-58页 |
| 3.3.2 介孔In_2O_3超薄纳米片的气敏性能 | 第58-64页 |
| 3.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第4章 结论与展望 | 第65-66页 |
| 4.1 结论 | 第65页 |
| 4.2 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-80页 |
| 作者简历及攻读硕士学位期间的研究成果 | 第80-81页 |
| 作者简历 | 第80页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
