| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-30页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| 1.2 隔微振技术在光刻机中的应用现状 | 第15-18页 |
| 1.3 振动控制技术理论研究现状 | 第18-22页 |
| 1.3.1 振动控制技术类型 | 第18-20页 |
| 1.3.2 隔振性能评价 | 第20-22页 |
| 1.4 直接反馈隔振技术研究现状 | 第22-28页 |
| 1.4.1 位移反馈技术 | 第23页 |
| 1.4.2 速度反馈技术 | 第23-24页 |
| 1.4.3 加速度反馈技术 | 第24-25页 |
| 1.4.4 力反馈技术 | 第25-28页 |
| 1.5 本领域存在的关键技术问题 | 第28-29页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第29-30页 |
| 第2章 基于干扰均方根响应的反馈量配置优化方法 | 第30-52页 |
| 2.1 引言 | 第30-31页 |
| 2.2 直接反馈振动控制模型分析 | 第31-32页 |
| 2.3 传递函数曲线特征参数比较法 | 第32-40页 |
| 2.3.1 传函特征参数分析 | 第33-35页 |
| 2.3.2 传递率曲线趋势分析 | 第35-39页 |
| 2.3.3 单系数最优值结果分析 | 第39-40页 |
| 2.4 干扰均方根响应极小值法 | 第40-49页 |
| 2.4.1 振动反馈控制基本模型 | 第41-42页 |
| 2.4.2 干扰均方根响应法基本原理 | 第42-47页 |
| 2.4.3 干扰均方根响应法重要结论 | 第47-49页 |
| 2.5 传感器噪声对系统性能的影响分析 | 第49-50页 |
| 2.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 第3章 无穷刚度和零刚度复合作用的主动负刚度隔微振方法 | 第52-80页 |
| 3.1 引言 | 第52-53页 |
| 3.2 复合型主动负刚度隔微振方法 | 第53-65页 |
| 3.2.1 正负刚度组合形式 | 第53-54页 |
| 3.2.2 复合型主动负刚度方法的基本原理 | 第54-57页 |
| 3.2.3 复合型主动负刚度方法的性能分析 | 第57-59页 |
| 3.2.4 复合型主动负刚度方法的实现形式 | 第59-65页 |
| 3.3 活塞式气浮隔振器的刚度特性分析 | 第65-78页 |
| 3.3.1 结构附加刚度模型 | 第66-69页 |
| 3.3.2 结构附加刚度的性能影响分析 | 第69-72页 |
| 3.3.3 双气室结构的刚度阻尼特性分析 | 第72-78页 |
| 3.4 本章小结 | 第78-80页 |
| 第4章 面向力反馈主动隔微振致动器的干扰力自感知方法 | 第80-93页 |
| 4.1 引言 | 第80页 |
| 4.2 力反馈主动隔振原理分析 | 第80-83页 |
| 4.3 干扰力自感知机理分析 | 第83-92页 |
| 4.3.1 自感知致动器双向换能特性分析 | 第83-86页 |
| 4.3.2 驱动磁场均匀性分析及优化 | 第86-89页 |
| 4.3.3 干扰自感知电压线性提取 | 第89-92页 |
| 4.4 本章小结 | 第92-93页 |
| 第5章 实验研究 | 第93-112页 |
| 5.1 引言 | 第93-94页 |
| 5.2 均方根响应法实验研究 | 第94-99页 |
| 5.2.1 实验平台设计及测试方法 | 第94-96页 |
| 5.2.2 实验结果分析 | 第96-99页 |
| 5.3 主动负刚度实验研究 | 第99-108页 |
| 5.3.1 实验平台设计及测试方法 | 第99-101页 |
| 5.3.2 实验结果分析 | 第101-108页 |
| 5.4 干扰力自感知实验研究 | 第108-111页 |
| 5.4.1 实验平台设计及测试方法 | 第108页 |
| 5.4.2 实验结果分析 | 第108-111页 |
| 5.5 本章小结 | 第111-112页 |
| 结论 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-123页 |
| 附录A | 第123-126页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第126-129页 |
| 致谢 | 第129-130页 |
| 个人简历 | 第130页 |