| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-24页 |
| 1.1 多元金属氧化物半导体材料的研究背景 | 第14-15页 |
| 1.2 钙钛矿氧化物材料的结构和研究背景 | 第15-17页 |
| 1.3 尖晶石氧化物材料的结构和研究背景 | 第17-18页 |
| 1.4 偏锡酸锌的研究背景和特性 | 第18-19页 |
| 1.5 锡酸锌的研究背景和特性 | 第19页 |
| 1.6 Zn-Sn氧化物薄膜的制备方法 | 第19-22页 |
| 1.6.1 固相反应法 | 第19-20页 |
| 1.6.2 水热法 | 第20页 |
| 1.6.3 物理气相沉积 | 第20-21页 |
| 1.6.4 化学气相沉积法 | 第21-22页 |
| 1.6.5 溶胶凝胶法 | 第22页 |
| 1.7 本文研究内容与工作安排 | 第22-24页 |
| 第2章 未掺杂Zn-Sn氧化物薄膜 | 第24-96页 |
| 2.1 Zn-Sn氧化物薄膜的制备及表征 | 第24-29页 |
| 2.1.1 实验所用的设备与器材 | 第24-25页 |
| 2.1.2 主要原料 | 第25页 |
| 2.1.3 Zn-Sn氧化物薄膜制备的实验流程 | 第25-27页 |
| 2.1.4 Zn-Sn氧化物薄膜的表征 | 第27-29页 |
| 2.2 锡盐对薄膜特性的影响 | 第29-36页 |
| 2.2.1 结构特性分析 | 第30-31页 |
| 2.2.2 表面形貌分析 | 第31-33页 |
| 2.2.3 光学特性分析 | 第33-36页 |
| 2.3 不同Zn-Sn浓度对对薄膜特性的影响 | 第36-42页 |
| 2.3.1 结构特性分析 | 第36-37页 |
| 2.3.2 表面形貌分析 | 第37-40页 |
| 2.3.3 光学特性分析 | 第40-42页 |
| 2.4 退火温度对Zn：Sn比为2：1薄膜特性的影响 | 第42-50页 |
| 2.4.1 结构特性分析 | 第42-45页 |
| 2.4.2 表面形貌分析 | 第45-47页 |
| 2.4.3 光学特性分析 | 第47-50页 |
| 2.5 退火温度对Zn：Sn比为1：1薄膜特性的影响 | 第50-57页 |
| 2.5.1 结构特性分析 | 第50-52页 |
| 2.5.2 表面形貌分析 | 第52-55页 |
| 2.5.3 光学特性分析 | 第55-57页 |
| 2.6 退火时间对Zn：Sn比为2：1薄膜特性的影响 | 第57-64页 |
| 2.6.1 结构特性分析 | 第57-59页 |
| 2.6.2 表面形貌分析 | 第59-62页 |
| 2.6.3 光学特性分析 | 第62-64页 |
| 2.7 退火时间对Zn：Sn比为1：1薄膜特性的影响 | 第64-70页 |
| 2.7.1 结构特性分析 | 第64-66页 |
| 2.7.2 表面形貌分析 | 第66-68页 |
| 2.7.3 光学特性分析 | 第68-70页 |
| 2.8 升温速率对Zn：Sn比为2：1薄膜特性的影响 | 第70-77页 |
| 2.8.1 结构特性分析 | 第70-73页 |
| 2.8.2 表面形貌分析 | 第73-75页 |
| 2.8.3 光学特性分析 | 第75-77页 |
| 2.9 升温速率对Zn：Sn比为1：1薄膜特性的影响 | 第77-83页 |
| 2.9.1 结构特性分析 | 第77-79页 |
| 2.9.2 表面形貌分析 | 第79-81页 |
| 2.9.3 光学特性分析 | 第81-83页 |
| 2.10 Zn-Sn氧化物的TEM分析 | 第83-88页 |
| 2.10.1 700℃退火后Zn-Sn-O材料的TEM分析 | 第83-86页 |
| 2.10.2 900℃退火后Zn-Sn-O材料的TEM分析 | 第86-88页 |
| 2.11 Zn-Sn氧化物的第一性原理计算 | 第88-95页 |
| 2.11.1 Zn_2SnO_4的CASTEP模拟计算 | 第88-92页 |
| 2.11.2 ZnSnO_3的CASTEP模拟计算 | 第92-95页 |
| 2.12 本章小结 | 第95-96页 |
| 第3章 钛掺杂Zn-Sn氧化物薄膜 | 第96-122页 |
| 3.1 钛掺杂Zn-Sn-O薄膜的制备 | 第96页 |
| 3.2 700℃退火后钛掺杂锌锡氧薄膜 | 第96-109页 |
| 3.2.1 结构特性分析 | 第96-98页 |
| 3.2.2 表面形貌分析 | 第98-100页 |
| 3.2.3 光学特性分析 | 第100-102页 |
| 3.2.4 透射电子显微镜分析 | 第102-104页 |
| 3.2.5 钛掺杂锡酸锌的第一性原理计算 | 第104-109页 |
| 3.3 900℃退火后钛掺杂锌锡氧薄膜 | 第109-120页 |
| 3.3.1 结构特性分析 | 第109-111页 |
| 3.3.2 表面形貌分析 | 第111-113页 |
| 3.3.3 光学特性分析 | 第113-115页 |
| 3.3.4 透射电子显微镜分析 | 第115-116页 |
| 3.3.5 钛掺杂偏锡酸锌第一性原理计算 | 第116-120页 |
| 3.4 本章小结 | 第120-122页 |
| 第4章 镁掺杂Zn-Sn氧化物薄膜 | 第122-148页 |
| 4.1 镁掺杂Zn-Sn-O薄膜的制备 | 第122-123页 |
| 4.2 700℃退火后镁掺杂锌锡氧薄膜 | 第123-135页 |
| 4.2.1 结构特性分析 | 第123-124页 |
| 4.2.2 表面形貌分析 | 第124-126页 |
| 4.2.3 光学特性分析 | 第126-128页 |
| 4.2.4 透射电子显微镜分析 | 第128-131页 |
| 4.2.5 镁掺杂锡酸锌第一性原理计算 | 第131-135页 |
| 4.3 900℃退火后镁掺杂锌锡氧薄膜 | 第135-146页 |
| 4.3.1 结构特性分析 | 第135-136页 |
| 4.3.2 表面形貌分析 | 第136-139页 |
| 4.3.3 光学特性分析 | 第139-140页 |
| 4.3.4 透射电子显微镜分析 | 第140-142页 |
| 4.3.5 镁掺杂偏锡酸锌第一性原理计算 | 第142-146页 |
| 4.4 本章小结 | 第146-148页 |
| 第5章 结论与展望 | 第148-150页 |
| 5.1 研究结论 | 第148页 |
| 5.2 研究展望 | 第148-150页 |
| 参考文献 | 第150-158页 |
| 致谢 | 第158-160页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第160页 |
