| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 课题背景 | 第11-12页 |
| 1.2 无掩模光刻技术研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 DMD数字光刻技术研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.1 DMD数字光刻特点 | 第14页 |
| 1.3.2 DMD光刻曝光技术 | 第14-16页 |
| 1.3.3 灰度光刻曝光技术 | 第16-17页 |
| 1.4 课题研究的目的和意义 | 第17-18页 |
| 1.5 本文的主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 基于DMD的数字光刻系统 | 第20-33页 |
| 2.1 DMD数字光刻系统结构 | 第20-24页 |
| 2.1.1 光源照明系统 | 第21-22页 |
| 2.1.2 DMD及其控制系统 | 第22-23页 |
| 2.1.3 投影物镜模块 | 第23-24页 |
| 2.1.4 精密工件台系统 | 第24页 |
| 2.2 数字微镜DMD | 第24-32页 |
| 2.2.1 DMD微结构 | 第25-26页 |
| 2.2.2 DMD的工作原理 | 第26-28页 |
| 2.2.3 DMD的控制方式 | 第28-32页 |
| 2.3 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 DMD高速图像曝光方法研究 | 第33-42页 |
| 3.1 大面积光刻DMD曝光方式 | 第33页 |
| 3.2 扫描式曝光的基本原理 | 第33-35页 |
| 3.3 DMD高速图像曝光方法 | 第35-41页 |
| 3.3.1 扫描带图像预处理模块 | 第37-38页 |
| 3.3.2 扫描带图像存储模块 | 第38-39页 |
| 3.3.3 高速实时曝光图像处理模块 | 第39-40页 |
| 3.3.4 基于曝光图像信息的微镜阵列控制模块 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 DMD灰度图像曝光方法研究 | 第42-57页 |
| 4.1 DMD灰度调制方式选择 | 第42-46页 |
| 4.1.1 空间灰度调制 | 第43页 |
| 4.1.2 时间灰度调制 | 第43-46页 |
| 4.2 传统二元脉宽调制帧频分析 | 第46-48页 |
| 4.3 DMD灰度帧频提高方案 | 第48-52页 |
| 4.3.1 限制因素 | 第48-49页 |
| 4.3.2 提高方案 | 第49-52页 |
| 4.4 扫描式DMD灰度曝光方法 | 第52-56页 |
| 4.4.1 灰度扫描带图像预处理模块 | 第53-54页 |
| 4.4.2 灰度扫描带图像存储模块 | 第54页 |
| 4.4.3 灰度曝光图像处理模块 | 第54-56页 |
| 4.4.4 基于BPWM的DMD灰度调制模块 | 第56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 基于FPGA的DMD图像曝光方法设计与实现 | 第57-80页 |
| 5.1 开发平台简介 | 第57-59页 |
| 5.2 系统结构设计 | 第59-60页 |
| 5.3 上位机软件及USB接口设计 | 第60-63页 |
| 5.3.1 上位机软件设计 | 第60-62页 |
| 5.3.2 USB接口驱动设计 | 第62-63页 |
| 5.4 DDR2控制接口设计 | 第63-68页 |
| 5.4.1 DDR2 IP核配置 | 第63-65页 |
| 5.4.2 基于IP核的DDR2控制接口设计 | 第65-68页 |
| 5.5 图像数据存储模块设计 | 第68-70页 |
| 5.6 高速DMD图像曝光功能设计 | 第70-75页 |
| 5.6.1 DMD曝光图像处理模块设计 | 第70-72页 |
| 5.6.2 DMD控制模块设计 | 第72-75页 |
| 5.7 DMD灰度图像曝光功能设计 | 第75-79页 |
| 5.7.1 灰度曝光图像处理模块设计 | 第75-77页 |
| 5.7.2 基于BPWM的DMD灰度调制模块设计 | 第77-79页 |
| 5.8 本章小结 | 第79-80页 |
| 第六章 系统实验及结果分析 | 第80-89页 |
| 6.1 实验平台及工具 | 第80-81页 |
| 6.2 主要功能模块实验 | 第81-83页 |
| 6.2.1 DDR2控制接口时序测试 | 第81-82页 |
| 6.2.2 DMD控制接口时序测试 | 第82-83页 |
| 6.3 DMD高速图像曝光实验 | 第83-85页 |
| 6.3.1 DMD曝光成像实验结果分析 | 第83-84页 |
| 6.3.2 高速扫描曝光成像实验结果分析 | 第84-85页 |
| 6.3.3 高速扫描曝光帧频测试 | 第85页 |
| 6.4 DMD灰度图像曝光实验 | 第85-88页 |
| 6.4.1 灰度曝光成像实验结果及对比 | 第85-87页 |
| 6.4.2 灰度曝光帧频测试结果及对比 | 第87-88页 |
| 6.5 本章小结 | 第88-89页 |
| 第七章 总结与展望 | 第89-90页 |
| 7.1 全文总结 | 第89页 |
| 7.2 研究展望 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-95页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第95-96页 |