| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| ·自旋阀材料和自旋阀传感器应用情况 | 第9-11页 |
| ·自旋阀材料和自旋阀传感器的优势 | 第9-10页 |
| ·自旋阀材料和自旋阀传感器的应用情况 | 第10-11页 |
| ·本文的研究目的和章节安排 | 第11-13页 |
| 2 自旋阀材料和自旋阀传感器 | 第13-23页 |
| ·GMR效应的物理机理和GMR材料的分类 | 第13-16页 |
| ·GMR效应的物理机理 | 第13-14页 |
| ·GMR材料的分类 | 第14-16页 |
| ·自旋阀材料的结构 | 第16-17页 |
| ·自旋阀材料膜层结构的简单优化 | 第17页 |
| ·常规自旋阀材料和具有合成SAF结构的自旋阀材料的膜层结构 | 第17页 |
| ·自旋阀材料的性能测试 | 第17-19页 |
| ·磁电阻效应测试系统 | 第17-18页 |
| ·自旋阀材料的磁电阻曲线 | 第18-19页 |
| ·自旋阀传感器基本结构 | 第19-21页 |
| ·单条结构自旋阀传感器 | 第19页 |
| ·推拉结构的自旋阀传感器 | 第19-20页 |
| ·磁屏蔽结构自旋阀传感器 | 第20页 |
| ·梯度式自旋阀传感器 | 第20-21页 |
| ·自旋阀传感器的性能表征 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 自旋阀材料的温度特性研究 | 第23-26页 |
| ·实验方案 | 第23-24页 |
| ·温度实验设备介绍 | 第23页 |
| ·具体实验方案 | 第23-24页 |
| ·实验结果讨论与分析 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 4 自旋阀传感器的性能研究 | 第26-39页 |
| ·自旋阀电阻条的结构 | 第26-27页 |
| ·屏蔽结构自旋阀传感器的性能研究 | 第27-32页 |
| ·屏蔽结构自旋阀传感器在常温下输出特性的表征 | 第27-28页 |
| ·温度对屏蔽结构自旋阀传感器的影响 | 第28-32页 |
| ·自旋阀梯度传感器性能研究 | 第32-38页 |
| ·自旋阀梯度传感器的结构与工作原理 | 第32-34页 |
| ·自旋阀梯度传感器的性能测试 | 第34-38页 |
| ·温度对自旋阀梯度传感器中电阻条性能的影响 | 第34-35页 |
| ·自旋阀梯度传感器对齿轮的测试情况 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 5 自旋阀齿轮传感器的研制 | 第39-46页 |
| ·自旋阀齿轮传感器的磁场分布仿真 | 第39-40页 |
| ·仿真模型的搭建 | 第39-40页 |
| ·仿真结果分析 | 第40页 |
| ·自旋阀齿轮传感器设计 | 第40-42页 |
| ·自旋阀齿轮传感器的性能测试 | 第42-43页 |
| ·存在的问题和应对措施 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 6 总结和展望 | 第46-48页 |
| ·总结 | 第46-47页 |
| ·展望 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 附录 | 第52页 |