| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·本课题的研究背景 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-11页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第11-14页 |
| 第二章 温度场移动式数控高精密晶体生长炉加热炉研究 | 第14-22页 |
| ·温度对晶体生长工艺的影响研究 | 第14-15页 |
| ·带温度梯度的电阻加热炉研究 | 第15-19页 |
| ·旋转磁场研究 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-22页 |
| 第三章 晶体生长炉坩埚传动轴旋转系统研究 | 第22-37页 |
| ·坩埚传动轴正反转旋转对晶体生长的影响 | 第22-23页 |
| ·坩埚传动轴高精度夹具结构研究 | 第23-29页 |
| ·定位套夹具 | 第24页 |
| ·三爪卡盘夹具 | 第24-25页 |
| ·弹簧夹头夹具 | 第25-26页 |
| ·坩埚传动轴高精度夹具 | 第26-29页 |
| ·坩埚传动轴旋转伺服系统驱动装置研究 | 第29-34页 |
| ·交流伺服电动机的选择 | 第29-33页 |
| ·减速器的选择 | 第33-34页 |
| ·坩埚传动轴正反转旋转控制系统研究 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 温度场超低速升降装置研究 | 第37-52页 |
| ·晶体生长对温度场升降运动的要求 | 第37-38页 |
| ·温度场升降系统研究现状 | 第38-40页 |
| ·晶体生长炉温度场超低速升降系统研究 | 第40-50页 |
| ·设计指标 | 第41-42页 |
| ·滚珠丝杠副的选用设计 | 第42-45页 |
| ·系统精度分析 | 第45-46页 |
| ·交流伺服电动机，减速器的选型研究 | 第46-48页 |
| ·温度场升降进给伺服控制系统研究 | 第48-50页 |
| ·系统实验 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 温度场移动式数控高精密晶体生长炉设备运行试验 | 第52-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第64页 |