微细铣削机床研制及硬脆性材料切削实验研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·课题来源和研究意义 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-11页 |
| ·微小型机床的发展 | 第8-10页 |
| ·硬脆性材料加工的发展 | 第10-11页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 微细铣削机床的设计构建 | 第13-33页 |
| ·床身整体结构设计 | 第13-16页 |
| ·机床本体设计 | 第13-14页 |
| ·有限元分析 | 第14-16页 |
| ·数控系统 | 第16-17页 |
| ·主轴系统 | 第17-18页 |
| ·驱动及反馈单元的设计 | 第18-20页 |
| ·强电控制柜控制电路的设计 | 第20-22页 |
| ·机床控制系统调试 | 第22-26页 |
| ·PID 调试 | 第22页 |
| ·实例 | 第22-26页 |
| ·机床误差补偿系统设计 | 第26-30页 |
| ·误差补偿概论 | 第26-27页 |
| ·本系统实例 | 第27-30页 |
| ·机床性能验证 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 微细切削理论基础 | 第33-42页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·最小切除厚度 | 第33-35页 |
| ·最小切除厚度的实验验证 | 第35-38页 |
| ·硬脆性材料脆-塑转变机理 | 第38-39页 |
| ·微细切削硬脆材料刀具的要求 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 硬脆性材料的微细铣削实验研究 | 第42-49页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·单晶硅的物理特性 | 第42-43页 |
| ·单晶硅微细铣削实验设计 | 第43-44页 |
| ·工件的装卡定位与刀具的对刀 | 第44-46页 |
| ·切削液的选择 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 实验结果测量与分析 | 第49-57页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·表面粗糙度测量 | 第49-54页 |
| ·各实验因素的方差分析 | 第54-56页 |
| ·存在的问题及展望 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 结论与展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第63页 |
