一种基于SONOS存储器的超高可靠性闪存工艺及其电路研究

摘要	第1-8页
ABSTRACT	第8-13页
第一章 绪论	第13-21页
·引言	第13-14页
·SONOS存储器研究现状	第14-18页
·本文研究内容和意义	第18-19页
·本文组织结构	第19-21页
第二章 SONOS存储器	第21-31页
·非易失性存储器技术的发展	第21-23页
·SONOS存储器技术	第23-27页
·SONOS存储器器件级可靠性参数	第27-31页
第三章 闪存电路	第31-41页
·闪存的分类	第31-34页
·闪存的干扰问题	第34-39页
·闪存外围电路简介	第39-41页
第四章 超高可靠性SONOS存储器器件级研究	第41-51页
·SONOS存储器隧穿氧化层形成前预清洗工艺优化	第41-47页
·SONOS存储器隧穿氧化层形成后的N_2O退火	第47-51页
第五章 超高可靠性SONOS闪存电路级研究	第51-63页
·超低读干扰NOR型SONOS闪存研究	第51-56页
·负温度系数的电荷泵升压电路	第56-63页
第六章 总结与展望	第63-66页
·总结	第63-64页
·展望	第64-66页
参考文献	第66-72页
致谢	第72-73页
硕士期间发表学术论文	第73页