大尺度衍射光栅刻划机定位平台的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 致谢 | 第8-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-24页 |
| ·本论文研究背景及意义 | 第14-15页 |
| ·国内外相关问题研究现状 | 第15-22页 |
| ·衍射光栅制造技术的发展概况 | 第15-17页 |
| ·光栅刻划机的国内外研究现状 | 第17-20页 |
| ·大行程纳米级定位平台的研究进展 | 第20-22页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第2章 光栅刻划机定位平台CAD系统的建立 | 第24-35页 |
| ·光栅刻划机的基本概况 | 第24-25页 |
| ·光栅刻划机定位平台的结构分析 | 第25-29页 |
| ·光栅刻划机定位平台的运行方式 | 第25-26页 |
| ·光栅刻划机定位平台的性能评价参数 | 第26-27页 |
| ·光栅刻划机定位平台的结构简介 | 第27-29页 |
| ·光栅刻划机定位平台CAD系统模型的建立 | 第29-34页 |
| ·三维建模软件PRO/E简介 | 第29页 |
| ·光栅刻划机定位平台CAD系统的建立 | 第29-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 光栅刻划机定位平台的有限元分析 | 第35-47页 |
| ·有限元法与ANSYS软件介绍 | 第35-37页 |
| ·有限元法介绍 | 第35页 |
| ·ANSYS软件介绍 | 第35-37页 |
| ·定位平台有限元模型的建立 | 第37-39页 |
| ·定位平台结构的静力学分析 | 第39-41页 |
| ·静态分析理论 | 第39-40页 |
| ·载荷分析处理并施加 | 第40-41页 |
| ·定义边界条件并求解 | 第41页 |
| ·结果分析 | 第41-46页 |
| ·定位平台整体位移和应力情况 | 第41-43页 |
| ·外台的位移情况 | 第43-44页 |
| ·拉杆的位移情况 | 第44页 |
| ·螺母支撑的位移情况 | 第44-45页 |
| ·其它部件的位移情况 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 光栅刻划机定位平台的瞬态分析 | 第47-54页 |
| ·定位平台的工作过程 | 第47-49页 |
| ·ANSYS瞬态动力学分析 | 第49-51页 |
| ·瞬态动力学的基本方程 | 第49页 |
| ·ANSYS瞬态动力分析方法 | 第49-50页 |
| ·ANSYS瞬态分析的关键技术 | 第50-51页 |
| ·ANSYS瞬态动力分析的基本步骤 | 第51页 |
| ·定位平台的瞬态分析 | 第51-53页 |
| ·激励曲线 | 第51页 |
| ·阻尼的选取 | 第51-52页 |
| ·瞬态动力分析结果 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 关键部件-拉杆的优化设计 | 第54-66页 |
| ·ANSYS软件优化设计理论 | 第54-58页 |
| ·优化设计的基本思想 | 第54-55页 |
| ·优化设计的基本概念 | 第55-58页 |
| ·优化设计的基本步骤 | 第58页 |
| ·拉杆的结构优化设计 | 第58-62页 |
| ·优化结果对比与分析 | 第62-65页 |
| ·优化结果对比 | 第62-64页 |
| ·优化结果分析 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第6章 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·论文总结 | 第66页 |
| ·论文不足与后续工作展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
