碳纳米管及石墨烯在纳米集成电路互连线中的相关研究
| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 目次 | 第11-14页 |
| 1 绪论 | 第14-26页 |
| ·纳米电子学的研究背景 | 第14-16页 |
| ·纳米电子学的研究意义 | 第16-19页 |
| ·碳纳米管的研究意义 | 第16-18页 |
| ·石墨烯的研究意义 | 第18-19页 |
| ·国内外研究现状 | 第19-24页 |
| ·碳纳米管的国内外研究现状 | 第19-22页 |
| ·石墨烯的国内外研究现状 | 第22-24页 |
| ·本论文的研究内容与创新之处 | 第24-26页 |
| 2 碳纳米管概述 | 第26-38页 |
| ·碳纳米管简介 | 第26-28页 |
| ·碳纳米管和石墨烯的发现 | 第26页 |
| ·碳纳米管的制备 | 第26-27页 |
| ·石墨烯的制备 | 第27-28页 |
| ·碳纳米管和石墨烯的结构 | 第28-33页 |
| ·碳纳米管和石墨烯的能带 | 第33-36页 |
| ·碳纳米管的热性能和其他优异性质 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 3 碳纳米管互连线的等效电路提取 | 第38-52页 |
| ·引言 | 第38-39页 |
| ·单根单壁碳纳米管的电阻模型 | 第39-42页 |
| ·单根单壁碳纳米管的电容模型 | 第42-44页 |
| ·单根单壁碳纳米管的静电电容模型 | 第42-43页 |
| ·单根单壁碳纳米管的量子电容模型 | 第43-44页 |
| ·单根单壁碳纳米管的电感模型 | 第44-47页 |
| ·单根单壁碳纳米管的磁性电感 | 第44-45页 |
| ·单根单壁碳纳米管的动态电感 | 第45-47页 |
| ·单根单壁碳纳米管束互连线建模 | 第47-50页 |
| ·单壁碳纳米管束电阻模型 | 第47-48页 |
| ·单壁碳纳米管束电容模型 | 第48-49页 |
| ·单壁碳纳米管束电感模型 | 第49-50页 |
| ·单壁碳纳米管束互连线的等效电路模型 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 4 单壁碳纳米管束互连线的传输函数及信号响应 | 第52-69页 |
| ·引言 | 第52-53页 |
| ·单壁碳纳米管束互连线的传输函数 | 第53-57页 |
| ·单根单壁碳纳米管束上的信号传输特性 | 第57-59页 |
| ·两根耦合单壁碳纳米管束互连线的串扰效应 | 第59-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 5 多壁碳纳米管束过孔互连线的电热耦合特性研究 | 第69-94页 |
| ·引言 | 第69-70页 |
| ·单根多壁碳纳米管的电路模型 | 第70-74页 |
| ·一对多壁碳纳米管束过孔的电路模型 | 第74-84页 |
| ·一对多壁碳纳米管束过孔互连的等效传输线模型 | 第84-87页 |
| ·多壁碳纳米管束过孔阵列的电路模型 | 第87-92页 |
| ·本章小结 | 第92-94页 |
| 6 多层石墨烯互连线的信号传输研究 | 第94-111页 |
| ·引言 | 第94页 |
| ·多层石墨烯互连线的电路模型 | 第94-98页 |
| ·多层石墨烯互连线的单导体等效电路参数RLC分析 | 第98-100页 |
| ·单根多层石墨烯互连线的传输函数 | 第100-103页 |
| ·多层石墨烯互连线的信号传输分析 | 第103-105页 |
| ·两根耦合多层石墨烯互连线的串扰效应 | 第105-109页 |
| ·本章小结 | 第109-111页 |
| 7 总结与展望 | 第111-114页 |
| ·本论文工作内容的总结 | 第111-112页 |
| ·未来工作的展望 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-125页 |
| 作者简历与科研成果 | 第125-126页 |
