基于扫描白光干涉法的二元光学器件表面误差分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| ·表面形貌测量技术发展历程及国内外研究现状 | 第8-10页 |
| ·微观表面三维形貌检测的意义 | 第10-11页 |
| ·微观表面三维形貌的测量方法 | 第11-15页 |
| ·机械探针式测量方法 | 第12-13页 |
| ·光学探针式测量方法 | 第13-14页 |
| ·扫描探针显微镜测量方法 | 第14-15页 |
| ·扫描电子显微镜方法 | 第15页 |
| ·研究内容及创新点 | 第15-17页 |
| 第2章 扫描白光干涉微纳检测系统 | 第17-33页 |
| ·白光干涉系统总体结构 | 第17-22页 |
| ·固定架及载物台 | 第18页 |
| ·隔光圆台 | 第18-19页 |
| ·放大倍率以及数值孔径 | 第19-20页 |
| ·平衡干涉光路 | 第20-21页 |
| ·成像系统的分辨率与成像系统的景深 | 第21-22页 |
| ·照明系统 | 第22-26页 |
| ·低功率调光电路 | 第22-23页 |
| ·照明光路的方法和原则 | 第23页 |
| ·照明光路结构 | 第23-24页 |
| ·光源的选定 | 第24-26页 |
| ·干涉系统的光能计算 | 第26-28页 |
| ·光学系统的光能损失 | 第26-27页 |
| ·干涉系统的光能阈值 | 第27-28页 |
| ·压电陶瓷驱动电源 | 第28-30页 |
| ·扫描白光干涉系统的测量过程 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 二元光学器件表面误差理论基础 | 第33-39页 |
| ·随机台阶刻蚀宽度误差 | 第33-36页 |
| ·对准误差 | 第36-37页 |
| ·随机台阶刻蚀深度误差 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 二元光学器件表面微观轮廓的三维重建及表征 | 第39-58页 |
| ·三维重建算法研究 | 第39-43页 |
| ·重心法 | 第39-40页 |
| ·移相算法 | 第40-41页 |
| ·包络曲线拟合法 | 第41-42页 |
| ·空间频域算法 | 第42页 |
| ·算法的比较 | 第42-43页 |
| ·二元光学器件表面的三维重建 | 第43-48页 |
| ·实验样品 | 第43-45页 |
| ·样品表面微观轮廓的三维重建 | 第45-48页 |
| ·二元光学器件表面的表征 | 第48-54页 |
| ·二元光学器件表面的纹理特性 | 第48-52页 |
| ·基于幅度参数法的二元光学器件表面表征 | 第52-54页 |
| ·二元光学器件表面的功率谱密度表征 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·总结 | 第58-59页 |
| ·课题的未来展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 发表论文情况说明 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
