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等离激元和随机粗化结构在氮化镓表面的制备与应用

摘要第1-11页
ABSTRACT第11-14页
第一章 绪论第14-37页
   ·引言第14-16页
   ·氮化镓的结构与基本性质第16-17页
   ·氮化镓基LED第17-20页
     ·氮化镓基LED的结构第17-18页
     ·氮化镓基LED的工作原理第18-20页
   ·提高氮化镓基LED发光效率的方法第20-32页
     ·表面等离激元提高LED发光效率第21-28页
     ·表面粗化提高LED发光效率第28-32页
     ·其他方法提高LED发光效率第32页
   ·研究目的和主要研究内容第32-34页
 参考文献第34-37页
第二章 氮化镓表面等离激元结构的制备第37-59页
   ·引言第37-38页
   ·实验步骤第38-39页
   ·结果与讨论第39-54页
     ·银纳米颗粒生长在n型氮化镓表面第39-44页
     ·n型氮化镓表面生长银纳米分叉结构第44-47页
     ·p型氮化镓和量子阱表面生长银纳米晶第47-51页
     ·生长机理第51-54页
   ·结论第54-55页
 参考文献第55-59页
第三章 氮化镓的光化学刻蚀与表面粗化第59-76页
   ·引言第59-60页
   ·垂直结构LED的表面粗化第60-65页
     ·垂直结构LED表面粗化原理第60-61页
     ·实验方法第61-62页
     ·结果与讨论第62-65页
   ·光化学法制造纳米多孔p型氮化镓第65-73页
     ·p型氮化镓光化学腐蚀原理第65-66页
     ·实验方法第66-67页
     ·结果与讨论第67-73页
   ·结论第73页
 参考文献第73-76页
第四章 氮化镓缺陷选择性腐蚀与表面粗化第76-92页
   ·引言第76-78页
   ·实验方法第78-79页
   ·结果与讨论第79-89页
     ·n型氮化镓的选择性湿法刻蚀第79-83页
     ·p型氮化镓的选择性湿法刻蚀与表面粗化第83-87页
     ·腐蚀坑中生长银纳米晶第87-89页
   ·结论第89-90页
 参考文献第90-92页
第五章 结论与展望第92-96页
   ·主要结论第92-94页
   ·本论文的创新点第94页
   ·有待进一步开展的工作第94-96页
致谢第96-97页
攻读硕士期间取得的科研成果第97-99页
学位论文评阅及答辩情况表第99页

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