| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·国内外同类课题研究现状 | 第10-12页 |
| ·MEMS 技术传感器发展趋势 | 第12页 |
| ·课题面临的主要问题和工作目标 | 第12-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 第2章 微电容检测的基本理论 | 第14-22页 |
| ·微电容传感器工作原理 | 第14-15页 |
| ·微电容传感器的特点 | 第15页 |
| ·微电容传感器应用的关键和难点 | 第15-16页 |
| ·微电容测量方法 | 第16-20页 |
| ·电桥法 | 第16-17页 |
| ·调频法 | 第17-18页 |
| ·运算放大器法 | 第18-19页 |
| ·电荷转移法 | 第19-20页 |
| ·交流法 | 第20页 |
| ·微电容传感器测量电路组成 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 MEMS 微电容传感器测量原理及其电路分析 | 第22-36页 |
| ·微弱信号检测技术概述 | 第22-23页 |
| ·微传感器减小系统噪声的措施 | 第23-24页 |
| ·测量电路所面临的问题 | 第24-25页 |
| ·微电容传感器电容测量电路 | 第25-35页 |
| ·直流充放电电容测量电路 | 第25-26页 |
| ·交流电桥电容测量电路 | 第26页 |
| ·交流运放电容测量电路 | 第26-27页 |
| ·基于V/T 变换电容测量电路 | 第27-28页 |
| ·基于电荷放大原理的电容测量电路 | 第28-29页 |
| ·交流激励测量电路 | 第29-35页 |
| ·测量电路原理 | 第30-31页 |
| ·电路抗杂散性分析 | 第31-32页 |
| ·电路原理误差分析 | 第32-34页 |
| ·测量电路设计 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 微电容传感器检测电路硬件系统设计 | 第36-42页 |
| ·硬件系统组成 | 第36页 |
| ·硬件系统仿真 | 第36-41页 |
| ·正弦激励信号发生电路 | 第36-38页 |
| ·交流信号放大电路 | 第38-39页 |
| ·全波整流电路 | 第39页 |
| ·低通滤波电路 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 微电容传感器检测电路仿真调试与实验 | 第42-52页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·Multisim 仿真软件应用介绍 | 第42-43页 |
| ·硬件电路仿真调试 | 第43-51页 |
| ·正弦激励信号发生电路仿真实验 | 第43-45页 |
| ·电容电压转换电路仿真实验 | 第45-46页 |
| ·标定曲线 | 第46-47页 |
| ·拟合直线与误差分析 | 第47-49页 |
| ·全波整流电路仿真 | 第49-50页 |
| ·低通滤波电路仿真 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 致谢 | 第59页 |