| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·课题目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外发展现状 | 第9-11页 |
| ·论文的研究内容 | 第11-13页 |
| 2 自动对准流程与测量建模 | 第13-22页 |
| ·自动对准流程 | 第13-15页 |
| ·自动对准测量建模 | 第15-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 自动对准实验系统硬件架构设计与组建 | 第22-30页 |
| ·光刻机控制系统总体架构 | 第22-24页 |
| ·自动对准实验系统硬件架构设计 | 第24-28页 |
| ·自动对准实验系统硬件组建 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 4 自动对准实验系统软件设计与实现 | 第30-38页 |
| ·自动对准实验系统软件需求分析 | 第30-32页 |
| ·自动对准实验系统软件设计 | 第32-35页 |
| ·自动对准实验系统软件实现 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 5 自动对准实验结果及分析 | 第38-56页 |
| ·自动对准实验目的 | 第38页 |
| ·图像像素灰度误差检测实验 | 第38-42页 |
| ·验证滤波算法对消除图像灰度误差的实验 | 第42-47页 |
| ·振动、光照不稳定对模板匹配重复定位精度的影响实验 | 第47-51页 |
| ·光照改变对模板匹配定位精度影响实验 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 6 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·全文总结 | 第56-57页 |
| ·对将来工作的展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63页 |