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化学流体沉积法钯复合膜的研制与表征

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-27页
   ·无机膜的特点及现状第7-8页
   ·钯复合膜的研究进展第8-18页
     ·钯复合膜的研究现状第8页
     ·钯膜透氢原理第8-11页
     ·钯复合膜的主要制备方法第11-18页
   ·超临界流体条件下制备钯膜第18-26页
     ·超临界流体特性第18-20页
     ·超临界二氧化碳第20-23页
     ·超临界流体法第23-26页
   ·本课题的研究内容及意义第26-27页
第二章 Pd 膜的SFD 生长及表征方法第27-41页
   ·制备第27-30页
     ·主要原料第27页
     ·主要试验装备第27-28页
     ·试验装备的安装与调试第28-30页
   ·表征与测试第30页
     ·微观形貌观测结果第30页
     ·物相分析结果第30页
   ·结果与讨论第30-40页
     ·前驱体和还原剂第32-34页
     ·反应条件第34-38页
     ·沉积位置和微结构第38-40页
   ·本章小结第40-41页
第三章 Pd 膜的Electroless Plating—SFD 生长及表征第41-48页
   ·引入晶种过程第41-42页
     ·敏化、活化液组成及工艺条件第41-42页
   ·结果与讨论第42-47页
     ·生长周期与钯原子含量第42-43页
     ·钯层表面形貌与微结构第43-45页
     ·引入晶种对膜品质的影响第45-47页
   ·本章小结第47-48页
第四章 设备调整(同向连续过程)第48-55页
   ·进料方式的改变第48-50页
     ·膜组件第49-50页
     ·试验操作第50页
   ·结果与讨论第50-54页
     ·钯层表面形貌与微结构第50-53页
     ·改变进料方式对膜品质的影响第53-54页
   ·本章小结第54-55页
第五章 结论第55-57页
   ·工作总结第55-56页
   ·试验不足之处与建议第56-57页
参考文献第57-64页
发表论文和科研情况说明第64-65页
致谢第65页

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