| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·TiN薄膜的性能与应用 | 第12-13页 |
| ·SiNx薄膜的性能与应用 | 第13-14页 |
| ·薄膜的制备技术 | 第14-18页 |
| ·溅射沉积 | 第14-18页 |
| ·本论文的研究目的及内容 | 第18-20页 |
| 第2章 实验方案及内容 | 第20-27页 |
| ·实验方案 | 第20页 |
| ·样品预处理 | 第20页 |
| ·薄膜的制备 | 第20-21页 |
| ·薄膜成分与结构 | 第21-24页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第21-22页 |
| ·傅立叶变换红外光谱(FTIR) | 第22页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第22页 |
| ·SEM表面形貌分析 | 第22-23页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第23-24页 |
| ·AMBIOS XP-2台阶仪 | 第24页 |
| ·薄膜的机械性能评价 | 第24-26页 |
| ·显微硬度测量 | 第24-25页 |
| ·膜基结合力的评价 | 第25页 |
| ·摩擦磨损性能评价 | 第25-26页 |
| ·薄膜的耐腐蚀性能评价 | 第26-27页 |
| ·电化学极化腐蚀 | 第26页 |
| ·高温水蒸气环境下的热循环腐蚀 | 第26-27页 |
| 第3章 TiN薄膜的制备及性能研究 | 第27-37页 |
| ·单层TiN薄膜的制备 | 第27-28页 |
| ·XRD结果与分析 | 第28-30页 |
| ·薄膜表面形貌分析 | 第30-31页 |
| ·Ti-N薄膜的显微硬度测试分析 | 第31-32页 |
| ·Ti-N薄膜摩擦磨损性能分析 | 第32-35页 |
| ·Ti-N薄膜的耐腐蚀性能 | 第35页 |
| 本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 Ti/TiN多层薄膜的制备及检测 | 第37-54页 |
| ·Ti/TiN多层薄膜的制备 | 第37-39页 |
| ·Ti/TiN多层薄膜的XRD分析 | 第39-40页 |
| ·Ti/TiN多层薄膜断面SEM分析 | 第40-42页 |
| ·Ti/TiN多层薄膜的显微硬度测试 | 第42-44页 |
| ·Ti/TiN多层薄膜的耐磨损性能 | 第44-47页 |
| ·薄膜/基体间的结合强度的评价 | 第47-48页 |
| ·Ti/TiN多层薄膜的耐腐蚀性能评价 | 第48-53页 |
| ·高温水蒸气循环腐蚀 | 第48-51页 |
| ·3%NaCl水溶液中的电化学腐蚀 | 第51-53页 |
| 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 SiNx薄膜的制备及其性能研究 | 第54-67页 |
| ·SiNx薄膜的制备 | 第54页 |
| ·氮气/氩气分压比(P(N2)/P_(Ar))对薄膜沉积速率的影响 | 第54-55页 |
| ·SiNx薄膜的FTIR结果 | 第55-56页 |
| ·SiNx薄膜的XPS结果 | 第56-59页 |
| ·SiNx薄膜的力学性能评价 | 第59-65页 |
| ·SiNx薄膜的显微硬度测试 | 第59-60页 |
| ·SiNx薄膜的耐磨损性能 | 第60-64页 |
| ·SiNx薄膜的膜基结合力结果 | 第64-65页 |
| 本章小结 | 第65-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第75-76页 |