ZnO：Al薄膜的制备与特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·透明导电氧化物薄膜概述 | 第8-10页 |
| ·AZO导电膜的研究现状 | 第10-13页 |
| ·AZO导电膜的国外研究现状 | 第11-12页 |
| ·AZO导电膜的国内研究现状 | 第12-13页 |
| ·本研究的目的和意义 | 第13-14页 |
| 2 AZO薄膜的制备和测试方法 | 第14-26页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第14-18页 |
| ·蒸发法 | 第14-15页 |
| ·溅射法 | 第15-17页 |
| ·热解喷涂法 | 第17页 |
| ·化学气相沉积法 | 第17-18页 |
| ·分子束外延法 | 第18页 |
| ·测试方法 | 第18-23页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第19-20页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第20-21页 |
| ·四探针 | 第21-22页 |
| ·霍尔(Hall)测量 | 第22页 |
| ·透射谱测试 | 第22-23页 |
| ·本研究的设备概况 | 第23-24页 |
| ·制备条件 | 第24-26页 |
| 3 氧化锌薄膜的生长特性及形貌结构分析 | 第26-37页 |
| ·ZnO晶体结构与缺陷 | 第26-29页 |
| ·薄膜生长的基础理论 | 第29-31页 |
| ·沉积条件对AZO薄膜结构特性的影响 | 第31-37页 |
| ·射频功率对AZO薄膜结构特性的影响 | 第32-34页 |
| ·氢气对AZO薄膜结构特性的影响 | 第34-37页 |
| 4 AZO薄膜的电学特性研究 | 第37-41页 |
| ·AZO薄膜的导电机理 | 第37-39页 |
| ·沉积条件对AZO薄膜电学性能的影响 | 第39-41页 |
| ·射频功率对AZO薄膜电学特性的影响 | 第39-40页 |
| ·氢气对AZO薄膜电学特性的影响 | 第40-41页 |
| 5 AZO薄膜的光学特性研究 | 第41-48页 |
| ·AZO的光学特性分析方法 | 第41-44页 |
| ·沉积条件对AZO薄膜光学性能的影响 | 第44-48页 |
| ·射频功率对AZO薄膜光学性能的影响 | 第44-45页 |
| ·氢气对AZO薄膜光学性能的影响 | 第45-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第57页 |
