| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-10页 |
| 图表索引 | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·提高调阻精度的方法分析 | 第14-19页 |
| ·激光调阻机系统组成及控制原理 | 第14-16页 |
| ·影响调阻精度的因素 | 第16-18页 |
| ·提高调阻精度的途经 | 第18-19页 |
| ·调阻控制策略的研究现状及研究意义 | 第19-21页 |
| ·阻值与刻蚀路径关系的研究意义及研究现状 | 第21-23页 |
| ·论文主要研究内容及方法 | 第23-25页 |
| 第二章 阻值与刻蚀路径关系的研究方法 | 第25-44页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·物理模型法 | 第25-27页 |
| ·片式电阻的阻值计算公式 | 第25-26页 |
| ·阻值计算公式的求解 | 第26-27页 |
| ·存在的问题及解决方法 | 第27页 |
| ·保角映射法 | 第27-35页 |
| ·方阻公式 | 第28-29页 |
| ·保角映射不改变电阻等效方阻数的理论证明 | 第29-32页 |
| ·不等宽电阻的保角映射函数选择 | 第32-33页 |
| ·应用保角映射法研究I、L 型刻蚀路径对阻值的影响 | 第33-35页 |
| ·存在的问题 | 第35页 |
| ·电阻细分法 | 第35-41页 |
| ·电阻细分原理及细分原则 | 第35页 |
| ·应用电阻细分方法研究纵向刻蚀路径对阻值的影响 | 第35-37页 |
| ·R_4 对阻值的影响 | 第37-38页 |
| ·利用实验法分析R_4 与L_2 的关系 | 第38-41页 |
| ·数值法 | 第41-42页 |
| ·实验法 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 阻值与刻蚀路径关系的数值分析 | 第44-66页 |
| ·引言 | 第44-45页 |
| ·数值分析过程简介 | 第45-50页 |
| ·电场强度的求解 | 第45-47页 |
| ·电场强度线积分的求解方法 | 第47页 |
| ·数据分析方法 | 第47-48页 |
| ·应用 APDL 实现参数化建模 | 第48-50页 |
| ·数值分析结论 | 第50-64页 |
| ·变量定义 | 第51页 |
| ·I型刻蚀路径对阻值的影响 | 第51-54页 |
| ·横向刻蚀长度对阻值的影响 | 第52-53页 |
| ·起刻位置对阻值的影响 | 第53-54页 |
| ·L型刻蚀路径对阻值的影响 | 第54-60页 |
| ·刻蚀路径对纵向阻值变化率的影响 | 第55-58页 |
| ·刻蚀路径对总阻值变化率的影响 | 第58-60页 |
| ·I、L 型刻蚀路径对0603 型电阻阻值影响的定量研究 | 第60-64页 |
| ·有效相对起刻位置和有效横、纵向相对刻蚀长度 | 第60-61页 |
| ·I 型刻蚀路径对0603 型电阻阻值的影响 | 第61页 |
| ·L 型刻蚀路径对0603 型电阻阻值的影响 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第四章 刻蚀路径对阻值影响的实验分析及验证 | 第66-77页 |
| ·引言 | 第66页 |
| ·实验方案设计 | 第66-67页 |
| ·单一纵向刻蚀路径对阻值的影响 | 第67-71页 |
| ·纵向刻蚀长度对阻值的影响 | 第68-69页 |
| ·纵向起刻位置对阻值的影响 | 第69页 |
| ·阻值变化率与纵向刻蚀长度的关系函数拟合 | 第69-71页 |
| ·I 型刻蚀路径对阻值的影响 | 第71-74页 |
| ·横向刻蚀长度对阻值的影响 | 第71-72页 |
| ·起刻位置对阻值的影响 | 第72-73页 |
| ·阻值变化率与横向长度的定量关系验证 | 第73-74页 |
| ·L 型刻蚀路径对阻值的影响 | 第74-75页 |
| ·纵向刻蚀长度对阻值的影响 | 第74-75页 |
| ·横向刻蚀长度对阻值的影响 | 第75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第五章 激光调阻机测量误差的软件自动补偿 | 第77-86页 |
| ·引言 | 第77页 |
| ·激光调阻机测量系统及其测量误差 | 第77-79页 |
| ·激光调阻机测量系统 | 第77-78页 |
| ·激光调阻机测量误差分析 | 第78-79页 |
| ·阻值计算 | 第79-80页 |
| ·激光调阻机多档测量误差的软件自动补偿 | 第80-84页 |
| ·多档测量误差的软件自动补偿原理 | 第80-81页 |
| ·自动补偿算法的思想 | 第81-82页 |
| ·自动补偿算法的实现 | 第82-84页 |
| ·应用 | 第84页 |
| ·本章小结 | 第84-86页 |
| 第六章 激光调阻机的调阻控制策略分析 | 第86-100页 |
| ·引言 | 第86-87页 |
| ·L 型刻蚀路径与单步增量的关系 | 第87-91页 |
| ·基于单步增量的调阻控制策略 | 第91-98页 |
| ·固定纵向刻蚀长度 | 第91-95页 |
| ·动态控制纵向刻蚀长度 | 第95-96页 |
| ·调阻控制策略的调阻精度比较 | 第96-98页 |
| ·其它调阻控制策略分析 | 第98-99页 |
| ·预测调阻控制模式 | 第98页 |
| ·变速追踪调阻模式 | 第98-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 第七章 结论与展望 | 第100-105页 |
| ·引言 | 第100页 |
| ·论文的研究成果 | 第100-103页 |
| ·论文的创新点 | 第103页 |
| ·进一步的研究工作与展望 | 第103-105页 |
| 附录 | 第105-108页 |
| 参考文献 | 第108-112页 |
| 博士期间发表的论文、申请的基金课题 | 第112-114页 |
| 致谢 | 第114-115页 |
| 作者简历 | 第115-116页 |
| 博士学位论文原创性声明 | 第116页 |