| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 文献综述 | 第10-28页 |
| ·高温超导体(HTS)材料 | 第10-11页 |
| ·高温超导薄膜的应用 | 第11-15页 |
| ·YBCO超导薄膜的制备方法 | 第15-17页 |
| ·Sol-Gel工艺在YBCO薄膜制备中的研究 | 第17-19页 |
| ·YBCO薄膜的微细图形加工方法 | 第19-23页 |
| ·光刻法 | 第19-21页 |
| ·改性工艺 | 第21-22页 |
| ·微掩模制备工艺 | 第22-23页 |
| ·化学修饰的Sol-Gel法在薄膜微细图形制备中的应用 | 第23-25页 |
| ·主要研究内容 | 第25-28页 |
| 2 试验方法及设备 | 第28-38页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·试验方案 | 第28-31页 |
| ·感光性YBCO溶胶工艺合成路线 | 第30页 |
| ·课题研究总体方案 | 第30-31页 |
| ·试验设备及装置 | 第31-33页 |
| ·主要测试仪器 | 第33-38页 |
| 3 感光性YBCO/AA溶胶及其薄膜微细图形制备 | 第38-56页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·YBCO/AA溶胶的制备 | 第38-40页 |
| ·Cu/AA盐溶液的化学反应机制 | 第40-46页 |
| ·紫外光谱分析 | 第40页 |
| ·红外光谱分析 | 第40-41页 |
| ·配合物价键理论 | 第41-42页 |
| ·Cu配位化合物 | 第42-43页 |
| ·Cu/AA凝胶薄膜的紫外感光特性 | 第43-45页 |
| ·感光的Sol-Gel工艺制备Cu/AA凝胶薄膜微细图形 | 第45-46页 |
| ·Y盐溶液的化学反应机制 | 第46-47页 |
| ·Ba盐溶液的化学反应机制 | 第47-48页 |
| ·YBCO/AA溶胶的紫外感光特性 | 第48-52页 |
| ·YBCO溶胶的紫外分析 | 第48-50页 |
| ·XPS分析 | 第50-52页 |
| ·YBCO薄膜微细图形的制备 | 第52-55页 |
| ·感光的Sol-Gel工艺制备YBCO凝胶薄膜微细图形 | 第52-54页 |
| ·影响YBCO/AA薄膜图形线宽的因素 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 4 Cu/BzAc、Y/BzAc配位螯合物的合成及其感光性研究 | 第56-70页 |
| ·引言 | 第56-57页 |
| ·Cu/BzAc溶胶的合成及其化学反应路径 | 第57-59页 |
| ·Cu/BzAc溶胶的制备 | 第57-58页 |
| ·紫外分析 | 第58页 |
| ·红外分析 | 第58-59页 |
| ·Cu/BzAc溶胶薄膜的紫外感光性研究 | 第59-63页 |
| ·Cu/BzAc溶胶薄膜的紫外感光特性 | 第59-61页 |
| ·Cu/BzAc溶胶薄膜微细图形的制备 | 第61-62页 |
| ·XPS分析 | 第62-63页 |
| ·XRD分析 | 第63页 |
| ·Y/BzAc溶胶的合成及其化学反应路径 | 第63-65页 |
| ·Y/BzAc溶胶的制备 | 第63-64页 |
| ·紫外分析 | 第64-65页 |
| ·红外分析 | 第65页 |
| ·Y/BzAc溶胶薄膜的紫外感光性研究 | 第65-69页 |
| ·Y/BzAc溶胶薄膜的紫外感光性 | 第65-66页 |
| ·Y/BzAc溶胶薄膜微细图形的制备 | 第66-67页 |
| ·XRD分析 | 第67-68页 |
| ·XPS分析 | 第68-69页 |
| ·小结 | 第69-70页 |
| 5 YBCO/BzAc凝胶薄膜感光性研究及其微细图形的制备 | 第70-80页 |
| ·引言 | 第70页 |
| ·YBCO/BzAc溶胶的合成及其感光性研究 | 第70-76页 |
| ·YBCO/BzAc溶胶的制各 | 第70-71页 |
| ·紫外分析 | 第71-72页 |
| ·红外分析 | 第72-73页 |
| ·YBCO/BzAc溶胶的紫外感光特性 | 第73-75页 |
| ·XPS分析 | 第75-76页 |
| ·YBCO/BzAc凝胶薄膜微细图形的制备 | 第76-78页 |
| ·前烘温度和时间对图形质量的影响 | 第76-77页 |
| ·溶洗剂对薄膜图形质量的影响 | 第77页 |
| ·感光的Sol-Gel工艺制备YBCO/BzAc凝胶薄膜微细图形 | 第77-78页 |
| ·感光性的YBCO/AA溶胶和YBCO/BzAc溶胶的比较 | 第78-79页 |
| ·小结 | 第79-80页 |
| 6 微细图形化的YBCO薄膜的微观结构及超导性能研究 | 第80-92页 |
| ·引言 | 第80页 |
| ·基片的选择 | 第80页 |
| ·热处理工艺 | 第80-84页 |
| ·低温热处理 | 第80-82页 |
| ·高温热处理 | 第82-84页 |
| ·YBCO薄膜的结构及超导电性分析 | 第84-87页 |
| ·YBCO薄膜的XRD分析 | 第84-86页 |
| ·SEM分析 | 第86-87页 |
| ·YBCO薄膜的超导性能的测试 | 第87页 |
| ·YBCO薄膜图形的研究 | 第87-91页 |
| ·表面轮廓分析 | 第88页 |
| ·XRD分析 | 第88-89页 |
| ·表面形貌分析 | 第89-90页 |
| ·YBCO薄膜图形的超导电性分析 | 第90-91页 |
| ·小结 | 第91-92页 |
| 7 结论和创新点 | 第92-94页 |
| 致谢 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-104页 |
| 作者在攻读学位期间发表的论文 | 第104-105页 |
| 作者在攻读学位期间申请的专利 | 第105页 |
